Gesteuerte Gasphasendotierung während der Epitaxie zur Erzeugung beliebiger Störstellenprofile:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
München
ZLDI
1975
|
| Schriftenreihe: | Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. f. Forschung u. Technologie: Forschungsber. Technolog. Forschung u. Entwicklung.
1975,2. |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | 71 S. 21 graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV007353929 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 930421s1975 d||| |||| 00||| und d | ||
| 035 | |a (OCoLC)634537349 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV007353929 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | |a und | ||
| 049 | |a DE-355 |a DE-19 |a DE-210 | ||
| 100 | 1 | |a Raabe, Gerhard |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Gesteuerte Gasphasendotierung während der Epitaxie zur Erzeugung beliebiger Störstellenprofile |
| 264 | 1 | |a München |b ZLDI |c 1975 | |
| 300 | |a 71 S. |b 21 graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. f. Forschung u. Technologie: Forschungsber. Technolog. Forschung u. Entwicklung. |v 1975,2. | |
| 650 | 0 | 7 | |a Halbleiterbauelement |0 (DE-588)4113826-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Gasphasenepitaxie |0 (DE-588)4156040-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Gasphasenepitaxie |0 (DE-588)4156040-1 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Halbleiterbauelement |0 (DE-588)4113826-0 |D s |
| 689 | 1 | |8 1\p |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. f. Forschung u. Technologie: Forschungsber. Technolog. Forschung u. Entwicklung. |v 1975,2. |w (DE-604)BV000004400 |9 1975,2 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004743077 | ||
| 883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804121599442419712 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Raabe, Gerhard |
| author_facet | Raabe, Gerhard |
| author_role | aut |
| author_sort | Raabe, Gerhard |
| author_variant | g r gr |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV007353929 |
| ctrlnum | (OCoLC)634537349 (DE-599)BVBBV007353929 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01426nam a2200349 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV007353929</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">930421s1975 d||| |||| 00||| und d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)634537349</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV007353929</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">und</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-19</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Raabe, Gerhard</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Gesteuerte Gasphasendotierung während der Epitaxie zur Erzeugung beliebiger Störstellenprofile</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">München</subfield><subfield code="b">ZLDI</subfield><subfield code="c">1975</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">71 S.</subfield><subfield code="b">21 graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. f. Forschung u. Technologie: Forschungsber. Technolog. Forschung u. Entwicklung.</subfield><subfield code="v">1975,2.</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Halbleiterbauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4113826-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Gasphasenepitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4156040-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Gasphasenepitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4156040-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Halbleiterbauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4113826-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. f. Forschung u. Technologie: Forschungsber. Technolog. Forschung u. Entwicklung.</subfield><subfield code="v">1975,2.</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000004400</subfield><subfield code="9">1975,2</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004743077</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV007353929 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:00:33Z |
| institution | BVB |
| language | Undetermined |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004743077 |
| oclc_num | 634537349 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-355 DE-BY-UBR DE-19 DE-BY-UBM DE-210 |
| owner_facet | DE-355 DE-BY-UBR DE-19 DE-BY-UBM DE-210 |
| physical | 71 S. 21 graph. Darst. |
| publishDate | 1975 |
| publishDateSearch | 1975 |
| publishDateSort | 1975 |
| publisher | ZLDI |
| record_format | marc |
| series | Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. f. Forschung u. Technologie: Forschungsber. Technolog. Forschung u. Entwicklung. |
| series2 | Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. f. Forschung u. Technologie: Forschungsber. Technolog. Forschung u. Entwicklung. |
| spelling | Raabe, Gerhard Verfasser aut Gesteuerte Gasphasendotierung während der Epitaxie zur Erzeugung beliebiger Störstellenprofile München ZLDI 1975 71 S. 21 graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. f. Forschung u. Technologie: Forschungsber. Technolog. Forschung u. Entwicklung. 1975,2. Halbleiterbauelement (DE-588)4113826-0 gnd rswk-swf Gasphasenepitaxie (DE-588)4156040-1 gnd rswk-swf Gasphasenepitaxie (DE-588)4156040-1 s DE-604 Halbleiterbauelement (DE-588)4113826-0 s 1\p DE-604 Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. f. Forschung u. Technologie: Forschungsber. Technolog. Forschung u. Entwicklung. 1975,2. (DE-604)BV000004400 1975,2 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
| spellingShingle | Raabe, Gerhard Gesteuerte Gasphasendotierung während der Epitaxie zur Erzeugung beliebiger Störstellenprofile Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. f. Forschung u. Technologie: Forschungsber. Technolog. Forschung u. Entwicklung. Halbleiterbauelement (DE-588)4113826-0 gnd Gasphasenepitaxie (DE-588)4156040-1 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4113826-0 (DE-588)4156040-1 |
| title | Gesteuerte Gasphasendotierung während der Epitaxie zur Erzeugung beliebiger Störstellenprofile |
| title_auth | Gesteuerte Gasphasendotierung während der Epitaxie zur Erzeugung beliebiger Störstellenprofile |
| title_exact_search | Gesteuerte Gasphasendotierung während der Epitaxie zur Erzeugung beliebiger Störstellenprofile |
| title_full | Gesteuerte Gasphasendotierung während der Epitaxie zur Erzeugung beliebiger Störstellenprofile |
| title_fullStr | Gesteuerte Gasphasendotierung während der Epitaxie zur Erzeugung beliebiger Störstellenprofile |
| title_full_unstemmed | Gesteuerte Gasphasendotierung während der Epitaxie zur Erzeugung beliebiger Störstellenprofile |
| title_short | Gesteuerte Gasphasendotierung während der Epitaxie zur Erzeugung beliebiger Störstellenprofile |
| title_sort | gesteuerte gasphasendotierung wahrend der epitaxie zur erzeugung beliebiger storstellenprofile |
| topic | Halbleiterbauelement (DE-588)4113826-0 gnd Gasphasenepitaxie (DE-588)4156040-1 gnd |
| topic_facet | Halbleiterbauelement Gasphasenepitaxie |
| volume_link | (DE-604)BV000004400 |
| work_keys_str_mv | AT raabegerhard gesteuertegasphasendotierungwahrendderepitaxiezurerzeugungbeliebigerstorstellenprofile |