Epitaxie, Endotaxie: gesetzmäßig orientiertes Verwachsen kristalliner Stoffe ; mit 10 Tabellen
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Leipzig
VEB Deutscher Verlag für Grundstoffindustrie
1969
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EPITAXIE ENDOTAXIE GESETZMAESSIG ORIENTIERTES VERWACHSEN KRISTALLINER
STOFFE HERAUSGEGEBEN VON DR. RER. NAT. HABIL. HELMUT GUENTHER SCHNEIDER
MIT 107 BILDERN UND 10 TABELLEN VEB DEUTSCHER VERLAG FUER
GRUNDSTOFFINDUSTRIE LEIPZIG 1969 I INHALTSVERZEICHNIS 1. SYSTEMATIK DER
ZU GESETZMAESSIGEN, GEGENSEITIGEN ORIENTIERUNGEN KRISTALLINER STOFFE
FUEHRENDEN VERWACHSUNGSPROZESSE UND DER METHODEN ZUR ERZEUGUNG SOLCHER
VERWACHSUNGEN 15 1.1. PROBLEMATIK 15 1.2. SYSTEMATIK. 16 1.2.1.
VERWACHSUNGSPROZESSE 16 1.2.2. METHODEN ZUR ERZEUGUNG GESETZMAESSIG
ORIENTIERTER VERWACHSUNGEN. . 18 1.2.2.1. ABSCHEIDUNG DER GASTPHASE
AUS DER GASFOERMIGEN PHASE 19 1.2.2.2. ABSCHEIDUNG DER GASTSUBSTANZ AUS
DER FLUESSIGEN PHASE 20 1.2.2.3. ERZEUGUNG GESETZMAESSIG ORIENTIERTER
VERWACHSUNG ZWEIER REGELLOS GEGEN- EINANDER ORIENTIERTER PHASEN DURCH
DEREN WECHSELWIRKUNG UND UMORDNUNG IM FESTEN ZUSTAND 22 1.3.
ZUSAMMENFASSUNG 23 LITERATUR 23 2. PROBLEME DER KEIMBILDUNG DER
GASTSUBSTANZ BEI EPITAXIE UND ENDOTAXIE . 25 2.1. HETEROGENE KEIMBILDUNG
UND EPITAXIE BEI DER KONDENSATION AUS DER DAMPF- PHASE 25 2.1.1.
EINLEITUNG 25 2.1.2. DIE THEORIE DER HETEROGENEN KEIMBILDUNG 25 2.1.2.1.
DIE KLASSISCHE THEORIE 26 2.1.2.2. DIE PHYSIKALISCHE BEDEUTUNG DES
KONTAKTWINKELS 33 2.1.2.3. DIE BEDEUTUNG DER GRENZFLAECHENSTRUKTUREN 34
2.1.2.4. DIE BEDEUTUNG DES KONDENSATIONSKOEFFIZIENTEN 35 2.1.2.5.
KOMPLIKATIONEN BEI HOHEN SUBSTRATTEMPERATUREN 36 2.1.2.6. KOMPLIKATIONEN
BEI NIEDRIGEN SUBSTRATTEMPERATUREN 38 2.1.2.7. BEEINFLUSSUNG DER
KEIMBILDUNG DURCH STRUKTURFEHLER DES SUBSTRATS . . . 40 2.1.2.8.
BEEINFLUSSUNG DER KEIMBILDUNG DURCH VERUNREINIGUNGEN 41 2.1.2.9.
KEIMBILDUNG UNTER BETEILIGUNG EINER CHEMISCHEN REAKTION 42 2.1.2.10. DAS
MODELL DES SCHEIBENFOERMIGEN KEIMES 44 2.1.3. EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE
45 9 2.1.3.1. DIE BESTAETIGUNG DES KEIMBILDUNGSMODELLS 45 2.1.3.1.1.
BEOBACHTUNGEN MIT DER FELD-ELEKTRONENEMISSIONS-MIKROSKOPIE 45 2.1.3.1.2.
ELEKTRONENMIKROSKOPISCHE BEOBACHTUNGEN 49 2.1.3.1.3. DIE ROLLE VON
STRUKTURFEHLERN UND VERUNREINIGUNGEN 50 2.1.3.2. MESSUNGEN KRITISCHER
UEBERSAETTIGUNGEN 51 2.1.3.2.1. NACHWEIS DER EXISTENZ EINER KRITISCHEN
UEBERSAETTIGUNG 51 2.1.3.2.2. DIE ANALYSE VON KEIMBILDUNGSDATEN MIT HILFE
DER GL. (30) 52 2.1.3.2.3. DIREKTE MESSUNGEN VON
KEIMBILDUNGSGESCHWINDIGKEITEN 55 2.1.3.2.4. WEITERE MESSUNGEN VON
KRITISCHEN UEBERSAETTIGUNGEN 57 2.1.3.3. DIE NICHT AN EINE KRITISCHE
UEBERSAETTIGUNG GEBUNDENE KEIMBILDUNG . . . 57 2.1.4. HETEROGENE
KEIMBILDUNG UND EPITAXIE 59 2.1.4.1. ARTEN DER EPITAXIE 59 2.1.4.2. DIE
THEORIE DER EPITAKTISCHEN KEIMBILDUNG 60 2.1.4.2.1. DIE BEDEUTUNG DER
SUBSTRATTEMPERATUR 60 2.1.4.2.2. DIE BEDEUTUNG DES KONTAKTWINKELS * . .
. . 62 2.1.4.3. DISKUSSION DER EXPERIMENTELLEN ERGEBNISSE 62 LITERATUR
65 2.2. STABILITAET UND INSTABILITAET EIN- UND ZWEIKOMPONENTIGER KEIME IN
VIELKOMPO- NENTENSYSTEMEN 68 2.2.1. EINLEITUNG 68 2.2.2. DEFINITIONEN
UND VORAUSSETZUNGEN 69 2.2.3. ZUSAMMENHANG ZWISCHEN STABILITAET, KINETIK
UND GITTERFEHLERN 70 2.2.4. EINKOMPONENTENKEIME 71 2.2.4.1. METASTABILE
GLEICHGEWICHTE UND INSTABILITAET DER KEIME AN DER PHASEN- GRENZE
GAS/SILIZIUM (FEST) 71 2.2.4.1.1. DER BEREICH DER GROSSEN SICL 4
-KONZENTRATIONEN 71 2.2.4.1.2. DER BEREICH GERINGER SICL 4
-KONZENTRATIONEN 74 2.2.4.2. KRITISCHE TEMPERATUR DER KONDENSATION 75
2.2.4.3. NAEHERUNGSFORMELN ZUR BESTIMMUNG DER BEDINGUNGEN FUER
GLEICHZEITIGE BIL- DUNG DER KEIME VERSCHIEDENER PHASEN 77 2.2.5.
ZWEIKOMPONENTENKEIME 79 2.2.5.1. AKTIVITAET EINER KOMPONENTE IN EINER
BINAEREN VERBINDUNG 79 2.2.5.2. KOEFFIZIENTEN DER OBERFLAECHENAKTIVITAET 82
2.2.5.3. DAS METASTABILE GLEICHGEWICHT DER BINAEREN KEIME MIT DER
GASPHASE . . 83 2.2.5.3.1. ISOBARE BEDINGUNGEN 83 2.2.5.3.2.
ZUSAMMENSETZUNG DER KRITISCHEN KEIME NICHTSTOECHIOMETRISOHER BINAERER
VERBINDUNGEN 85 2.2.5.4. INSTABILITAET DER ZWEIKOMPONENTENKEIME 87 2.2.6.
AKTIVITAET DER KEIME IN STROEMUNGSSYSTEMEN 88 2.2.7. ZUXAMMENFASSUNG 91
LITERATUR 95 2.3. EPITAXIE AUF REALEN KRISTALLFLAECHEN 96 2.3.1.
KEIMBILDUNG BEI EPITAXIE 98 2.3.2. KEIMVERTEILUNG AUF DER UNTERLAGE 103
2.3.3. KINETIK DER SCHICHTBILDUNG 106 LITERATUR 109 10 2.4. EPITAKTISCHE
KRISTALLISATION AUS SCHNELL ABGEKUEHLTER SCHMELZE . . . . .110 LITERATUR
115 2.5. EPITAXIE UND GEFUEGE IN EUTEKTISCHEN LEGIERUNGEN 116 2.5.1.
EINFUEHRUNG 116 2.5.2. KEIMBILDUNG IN EUTEKTIKA 117 2.5.3.
ORIENTIERUNGSVERHAELTNISSE IN EUTEKTIKA 118 2.5.4. EPITAXIE UND
EUTEKTISCHE GEFUEGE 119 2.5.4.1. LAMELLARE UND DEGENERIERTE GEFUEGE 119
2.5.4.2. STAEBCHENGEFUEGE 121 2.5.4.3. KOMPLEX-REGELMAESSIGE UND
UNREGELMAESSIGE GEFUEGE 121 2.5.5. TERNAERE EUTEKTIKA 123 2.5.6.
ZUSAMMENFASSUNG 123 LITERATUR 124 2.6. DER ORIENTIERUNGSZUSAMMENHANG
ZWISCHEN DEN BEI AUSSCHEIDUNGSVORGAENGEN IN METALLEN INEINANDER
UMWANDELNDEN PHASEN 125 2.6.1. EINLEITUNG 125 2.6.2. MODELL FUER DIE
KEIMBILDUNG BEI AUSSCHEIDUNGSVORGAENGEN 126 2.6.3. ABSCHAETZUNG DES
*ORIENTIERUNGSGEBIETES" EINER GITTERDEFORMATION 127 2.6.4. DER
ORIENTIERUNGSZUSAMMENHANG BEI AUSSCHEIDUNGSUMWANDLUNGEN ZWISCHEN
KUBISCH-FLAECHENZENTRIERTEN (F) UND KUBISCH-RAUMZENTRIERTEN (B) PHASEN .
. 130 2.6.5. ZUSAMMENFASSUNG 132 LITERATUR 133 3. PROBLEME DER
STRUKTURELLEN AUSBILDUNG DER GASTSUBSTANZ 135 3.1. DER EINFLUSS DES
SUBSTRATS AUF STRUKTUR UND GITTERKONSTANTE DUENNER AUFGE- WACHSENER
SCHICHTEN. . 135 3.1.1. EINFUEHRUNG 135 3.1.2. PSEUDOMORPHISMUS 136
3.1.2.1. DUENNE SCHICHTEN MIT DEM WACHSTUMSVERHALTEN MONOATOMARER
SCHICHTEN . 136 3.1.2.1.1. THEORETISCHE VORAUSSAGEN 136 3.1.2.1.2.
EXPERIMENTELLE BEOBACHTUNGEN 137 3.1.2.2. SCHICHTEN, DEREN WACHSTUM
DURCH DIE ENTSTEHUNG VON DREIDIMENSIONALEN KEIMEN EINGELEITET WIRD 138
3.1.2.2.1. THEORETISCHE VORAUSSAGEN 138 3.1.2.2.2. DIE BESTAETIGUNG DER
EXISTENZ KOHAERENTER ODER PSEUDOMORPHER KLEINER KEIME 138 3.1.3. DER
TEILWEISE AUSGLEICH DER FEHLPASSUNG DURCH VERSETZUNGEN 138 3.1.3.1. DER
ANTEIL DER DURCH VERSETZUNGEN AUSGEGLICHENEN FEHLPASSUNG . . . . 138
3.1.3.2. GEOMETRIE DER ANPASSUNGSVERSETZUNGEN 140 3.1.3.3. ENTSTEHUNG
DER ANPASSUNGSVERSETZUNGEN 142 3.1.3.3.1. ANPASSUNGSVERSETZUNGEN MIT
BURGERSVEKTOREN IN DER GRENZFLAECHE . . . .142 3.1.3.3.2.
ANPASSUNGSVERSETZUNGEN, DEREN BURGERSVEKTOREN GEGEN DIE GRENZFLAECHEN-
EBENE GENEIGT SIND 143 3.1.4. EINFLUSS DES SUBSTRATS AUF DIE
KRISTALLSTRUKTUR DER AUFGEWACHSENEN SCHICHT . 145 3.1.4.1. BEISPIELE VON
AUFWACHSENDEN SCHICHTEN, DIE DIE STRUKTUR DES SUBSTRATS AN- NEHMEN 145
3.1.4.2. DAS WACHSTUM VON /9-KOBALT AUF KUPFER UND NICKEL . 146 11
3.1.4.2.1. DER PSEUDOMORPHISMUS UND DIE GEOMETRIE DER
ANPASSUNGSVERSETZUNGEN . 146 3.1.4.2.2. ENTSTEHUNG UNVOLLSTAENDIGER
ANPASSUNGSVERSETZUNGEN 147 3.1.4.2.3. UMWANDLUNG DER
KUBISEH-FLAECHENZENTRIERTEN STRUKTUR IN DIE STRUKTUR DER HEXAGONAL
DICHTESTEN PACKUNG IN TEILEN DUENNER KOBALTSCHICHTEN 149 3.1.4.2.4.
METHODEN ZUR ERHOEHUNG DER KRITISCHEN SCHICHTDICKE, OBERHALB DER SICH DIE
KRISTALLSTRUKTUR IN DER SCHICHT IN DIE» NORMALSTRUKTUR DES
SCHICHTMATERIALS UMWANDELT 149 3.1.4.3. WACHSTUM VON Y-EISEN-SCHICHTEN
AUF KUPFER 150 3.1.5. ZUSAMMENFASSUNG 151 LITERATUR 151 3.2.
PSEUDOMORPHIE IN EPITAKTISCHEN AUFDAMPFSCHICHTEN 152 3.2.1. EINLEITUNG
152 3.2.2. THEORETISCHE MODELLE 153 3.2.2.1. EINDIMENSIONALES MODELL 153
3.2.2.2. KONTINUUMSTHEORIE DER ENDLICH DICKEN SCHICHT 155 3.2.3.
EXPERIMENTE 158 3.2.3.1. PARTIELLE PSEUDOMORPHIE UND VERSETZUNGSSTRUKTUR
IN AG(LLL) AUF CU(LLL) . 159 3.2.3.2. VOLLSTAENDIGE UND PARTIELLE
PSEUDOMORPHIE VON *(111) UND NIFE(LLL) AUF CU(LLL) 161 3.2.3.3.
ZUSAMMENFASSUNG UND DISKUSSION DER ERGEBNISSE 163 LITERATUR 165 3.3.
METASTABILE STRUKTUREN IN DUENNEN EPITAKTISCHEN SCHICHTEN 166 3.3.1.
EINLEITUNG 166 3.3.2. EPITAKTISCHES WACHSTUM METASTABILER PHASEN 166
3.3.2.1. EPITAKTISCH GEWACHSENE METASTABILE PHASEN 168 3.3.2.1.1.
PSEUDOMORPHISMUS 168 3.3.2.1.2. UEBERSTRUKTUREN 170 3.3.2.1.3.
SUBSTRATSTABILISIERUNG - 174 3.3.2.2. DURCH ABSCHEIDUNGSPARAMETER
BESTIMMTE METASTABILE STRUKTUREN . . . . 175 3.3.2.3. ZUSAMMENFASSUNG
182 3.3.3. STABILISIERUNGSMECHANISMUS 183 3.3.4. SCHLUSSFOLGERUNGEN 184
LITERATUR 184 4. PROBLEME DER ERZEUGUNG GESETZMAESSIG ORIENTIERTER
VERWACHSUNGEN . . . .187 4.1. EPITAKTISCHES WACHSTUM VON
HALBLEITERSCHICHTEN DURCH AUFDAMPFEN UND DIFFUSION UNTER ISOTHERMEN
BEDINGUNGEN (EDRI) 187 4.1.1. EINLEITUNG 187 4.1.2. ANWENDUN G DER
EDRI-METHODE ZUM AUFBRINGEN VON HGTE UND CDTE . . .188 4.1.2.1.
ARBEITSWEISE 189 4.1.2.2. PROBENDARSTELLUNG 189 4.1.3.
KRISTALLCHEMISCHES STUDIUM DER ABSCHEIDUNGEN 190 4.1.3.1.
KRISTALLZUSTAND 190 4.1.3.2. AUSSEHEN DER SCHICHT 192 4.1.3.3. PROFIL
DER CHEMISCHEN ZUSAMMENSETZUNG 193 4.1.4. WACHSTUMSPARAMETER 194 12
4.1.4.1. DAUER DER BEHANDLUNG 195 4.1.4.2. BEHANDLUNGSTEMPERATUR 195
4.1.4.3. DICKE DER KEILE 197 4.1.4.4. PARTIALDRUECKE DER KOMPONENTEN 198
4.1.5. VERSUCH DER DEUTUNG 199 4.1.5.1. ROLLE DER INTERDIFFUSION 199
4.1.5.2. EINFLUSS DER DAMPFDRUECKE AUF INTERDIFFUSION UND WACHSTUM 201
4.1.5.3. VARIIERUNG DES VERHAELTNISSES HGTE-VOLUMEN/REAKTIONSRAUMVOLUMEN
. . 201 4.1.5.4. QUANTITATIVES STUDIUM BEI HOHEN TEMPERATUREN 202 4.1.6.
VERALLGEMEINERUNG DER METHODE 204 4.1.7. ZUSAMMENFASSUNG 209 4.1.8.
ANHANG 209 4.1.8.1. ALLGEMEINES 209 4.1.8.2. ANWENDUNG AUF DAS SYSTSM
HG, L HG , ** 211 LITERATUR 212 4.2. HERSTELLUNG UND STRUKTUR
AUFGEDAMPFTER GERMANIUM-HETEROEPITAXIE- SCHICHTEN AUF GALLIUMARSENID 212
4.2.1. EINFUEHRUNG 212 4.2.2. EXPERIMENTELLER TEIL 214 4.2.3. DISKUSSION
DER VERSUCHSERGEBNISSE 214 4.2.4. ZUSAMMENFASSUNG 219 LITERATUR 219
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