Elektronenbestrahlungssysteme zur Strukturerzeugung: = Report-Nummer BMFT-FB-T 81-090 u.a.
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik
1981
|
| Schlagworte: |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 ca4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV006945343 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 930405m1981uuuu |||| 00||| und d | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV006945343 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | |a und | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Elektronenbestrahlungssysteme zur Strukturerzeugung |b = Report-Nummer BMFT-FB-T 81-090 u.a. |c Mitarb.: Klaus Anger* |
| 246 | 1 | 1 | |a Report-Nummer BMFT-FB-T 81-090 u.a. |
| 264 | 1 | |a Eggenstein-Leopoldshafen |b Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |c 1981 | |
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Integrierte Schaltung |0 (DE-588)4027242-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |a Elektronenlithographie |2 gnd |9 rswk-swf | |
| 689 | 0 | 0 | |a Integrierte Schaltung |0 (DE-588)4027242-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Elektronenlithographie |A f |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Anger, Klaus |e Sonstige |4 oth | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-012414216 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804132295908524032 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV006945343 |
| ctrlnum | (DE-599)BVBBV006945343 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00989nam a2200277 ca4500</leader><controlfield tag="001">BV006945343</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">930405m1981uuuu |||| 00||| und d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV006945343</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">und</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Elektronenbestrahlungssysteme zur Strukturerzeugung</subfield><subfield code="b">= Report-Nummer BMFT-FB-T 81-090 u.a.</subfield><subfield code="c">Mitarb.: Klaus Anger*</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Report-Nummer BMFT-FB-T 81-090 u.a.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Eggenstein-Leopoldshafen</subfield><subfield code="b">Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik</subfield><subfield code="c">1981</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Integrierte Schaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027242-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Elektronenlithographie</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Integrierte Schaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027242-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Elektronenlithographie</subfield><subfield code="A">f</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Anger, Klaus</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-012414216</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | Elektronenlithographie gnd |
| genre_facet | Elektronenlithographie |
| id | DE-604.BV006945343 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T19:50:33Z |
| institution | BVB |
| language | Undetermined |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-012414216 |
| open_access_boolean | |
| publishDate | 1981 |
| publishDateSearch | 1981 |
| publishDateSort | 1981 |
| publisher | Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |
| record_format | marc |
| spelling | Elektronenbestrahlungssysteme zur Strukturerzeugung = Report-Nummer BMFT-FB-T 81-090 u.a. Mitarb.: Klaus Anger* Report-Nummer BMFT-FB-T 81-090 u.a. Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1981 txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Integrierte Schaltung (DE-588)4027242-4 gnd rswk-swf Elektronenlithographie gnd rswk-swf Integrierte Schaltung (DE-588)4027242-4 s Elektronenlithographie f DE-604 Anger, Klaus Sonstige oth |
| spellingShingle | Elektronenbestrahlungssysteme zur Strukturerzeugung = Report-Nummer BMFT-FB-T 81-090 u.a. Integrierte Schaltung (DE-588)4027242-4 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4027242-4 |
| title | Elektronenbestrahlungssysteme zur Strukturerzeugung = Report-Nummer BMFT-FB-T 81-090 u.a. |
| title_alt | Report-Nummer BMFT-FB-T 81-090 u.a. |
| title_auth | Elektronenbestrahlungssysteme zur Strukturerzeugung = Report-Nummer BMFT-FB-T 81-090 u.a. |
| title_exact_search | Elektronenbestrahlungssysteme zur Strukturerzeugung = Report-Nummer BMFT-FB-T 81-090 u.a. |
| title_full | Elektronenbestrahlungssysteme zur Strukturerzeugung = Report-Nummer BMFT-FB-T 81-090 u.a. Mitarb.: Klaus Anger* |
| title_fullStr | Elektronenbestrahlungssysteme zur Strukturerzeugung = Report-Nummer BMFT-FB-T 81-090 u.a. Mitarb.: Klaus Anger* |
| title_full_unstemmed | Elektronenbestrahlungssysteme zur Strukturerzeugung = Report-Nummer BMFT-FB-T 81-090 u.a. Mitarb.: Klaus Anger* |
| title_short | Elektronenbestrahlungssysteme zur Strukturerzeugung |
| title_sort | elektronenbestrahlungssysteme zur strukturerzeugung report nummer bmft fb t 81 090 u a |
| title_sub | = Report-Nummer BMFT-FB-T 81-090 u.a. |
| topic | Integrierte Schaltung (DE-588)4027242-4 gnd |
| topic_facet | Integrierte Schaltung Elektronenlithographie |
| work_keys_str_mv | AT angerklaus elektronenbestrahlungssystemezurstrukturerzeugungreportnummerbmftfbt81090ua AT angerklaus reportnummerbmftfbt81090ua |