Mikromechanik: Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin u.a.
Springer
1991
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| Ausgabe: | Korr. Nachdr. |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | XVII, 501 S. Ill. u. graph. Darst. |
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