Entwicklung, Optimierung und Test von elektrostatischen Mikromotoren nach dem LIGA-Verfahren:
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Format: | Abschlussarbeit Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Kernforschungszentrum
1992
|
Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
Schriftenreihe: | Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK
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