Optische Konstanten von Halbleiter-Mehrschichtsystemen:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
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1991
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| adam_text | OPTISCHE KONSTANTEN VON HALBLEITER- MEHRSCHICHTSYSTEMEN VON DER
MATHEMATISCH-NATURWISSENSCHAFTLICHEN FAKULTAET * FACHBEREICH I * DER
RHEINISCH-WESTFAELISCHEN TECHNISCHEN HOCHSCHULE AACHEN ZUR ERLANGUNG DES
AKADEMISCHEN GRADES EINES DOKTORS DER NATURWISSENSCHAFTEN GENEHMIGTE
DISSERTATION VORGELEGT VON DIPLOM-PHYSIKER BERNHARD HEINZ AUS TRIER
REFERENT: UNIVERSITAETSPROFESSOR DR.P.GROSSE KORREFERENT:
UNIVERSITAETSPROFESSOR DR.W.RICHTER TAG DER MUENDLICHEN PRUEFUNG: 21.1.1991
INHALT 1 THEORETISCHE GRUNDLAGEN 3 1.1 DIE DIELEKTRISCHE FUNKTION E(U )
3 1.1.1 DIE SUSZEPTIBILITAET DER GITTERSCHWINGUNGEN * 7 *(*) 4 1.1.2 DIE
SUSZEPTIBILITAET DER FREIEN LADUNGSTRAEGER */ * (*) 4 1.1.3 DIE
SUSZEPTIBILITAET DER GEBUNDENEN LADUNGSTRAEGER X*(W) ... 5 1.2 AUSBREITUNG
VON ELEKTROMAGNETISCHEN WELLEN 7 1.2.1 E-H - MATRIX-METHODE: 9 1.2.2 DIE
ADMITTANZ-DARSTEUEUNG 14 1.2.3 E+ - ^--MATRIX-METHODE: 15 1.2.4 P * T -
FORMALISMUS: 18 1.3 ENERGIEBILANZ IM MEDIUM 21 1.4 INKOHAERENTES
REFLEXIONSVERMOEGEN EINER SCHICHT 23 1.5 DER BERREMAN-EFFEKT 25 1.5.1 DIE
ENERGIEDISSIPATION IM FILM 25 1.5.2 DIE AMPLITUDENKOEFFIZIENTEN 32 1.6
BESTIMMUNG DER OPTISCHEN KONSTANTEN D(UI), E (U ) 35 1.6.1 BERECHNUNG
VON *(*) AUS R UND T 35 1.6.2 *(*) AUS EINER ANPASSUNG DER GEMESSENEN
SPEKTREN 38 2 FOURIER-SPEKTROSKOPIE UND AUSWERTUNG 39 2.1 GRUNDLAGEN 39
2.2 FOURIER-SPEKTRALPHOTOMETER 40 2.3 DAS PROGRAMM LAYERS 46 3
GAAS-MEHRSCHICHTSYSTEME 53 3.1 HERSTELLUNG DER GAAS-MEHRSCHICHTSYSTEME
53 3.2 REFLEXIONSMESSUNGEN AN DEN GAAS-MEHRSCHICHTSYSTEMEN 54 INHALT 2
3.3 INTERPRETATION DER SPEKTREN 59 3.3.1 DIE DICKE DER EPITAKTISCHEN
SCHICHTEN 60 3.3.2 DIE LADUNGSTRAEGERKONZENTRATION DER GAAS-SCHICHTEN 62
3.3.3 SIMULTATION DER GAAS-SPEKTREN 64 3.4 DISKUSSION DER ERGEBNISSE 65
4 UNTERSUCHUNG VON DOTIERUNGSPROFILEN 77 4.1 DER AUFBAU DER
EPITAKTISCHEN SI-PROBEN 78 4.2 REFLEXIONSMESSUNGEN AN DEN EPITAKTISCHEN
SI-PROBEN 78 4.3 DIE INTERPRETATION DER REFLEXIONSSPEKTREN 79 4.3.1 DIE
BESTIMMUNG DER EPITAKTISCHEN SCHICHTDICKE D CP J 79 4.3.2 DIE SIMULATION
DER GEMESSENEN SI-SPEKTREN 82 4.3.3 EIN AUTOMATISCHES AUSWERTEVERFAHREN
97 4.4 ZUSAMMENFASSUNG 106 4.5 COSI 2 UND NISI 2 -SCHICHTEN 107 5
OPTISCHE UNTERSUCHUNGEN AN PBSE... 111 5.1 AUFBAU DER PBSE-,
PBL.SR.SE-UND PBI_.EU.SE-PROBEN 113 5.2 DIE OPTISCHEN KONSTANTEN DER
PBSE-, PBI_.SR.SE- UND PBX_.EU.SE- PROBEN 114 5.2.1 PBSE 117 5.2.2
PB!_.EU.SE UND PBL.SR.SE 118 5.3 ZUSAMMENFASSUNG 121 6 ZUSAMMENFASSUNG
129
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