Radio-frequency power in plasmas: Charleston, SC 1991
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Batchelor, Donald B. (HerausgeberIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: New York American Inst. of Physics 1992
Schriftenreihe:American Institute of Physics <New York, NY>: AIP conference proceedings 244
Schlagworte:
Beschreibung:XI, 399 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:0883189372

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