Chemical vapor deposition of refractory metals and ceramics: symposium held November 29 - December 1, 1989, Boston, Massachusetts, USA
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Besmann, Theodore M. (HerausgeberIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Pittsburgh, Pa. 1990
Schriftenreihe:Materials Research Society: Materials Research Society symposia proceedings 168.
Schlagworte:
Beschreibung:XIII, 399 S. Ill., graph. Darst. 24 cm
ISBN:1558990569

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