Über die homoepitaktische Abscheidung einkristalliner Siliziumkarbid-Schichten aus der Gasphase:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1992
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 148, X S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV005983891 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19930427 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 921229s1992 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)46174651 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV005983891 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-12 |a DE-355 |a DE-29 |a DE-29T |a DE-83 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 100 | 1 | |a Karmann, Stephan |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Über die homoepitaktische Abscheidung einkristalliner Siliziumkarbid-Schichten aus der Gasphase |c vorgelegt von Stephan Karmann |
| 264 | 1 | |c 1992 | |
| 300 | |a 148, X S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1992 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Gasphasenepitaxie |0 (DE-588)4156040-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Siliciumcarbid |0 (DE-588)4055009-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Siliciumcarbid |0 (DE-588)4055009-6 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Gasphasenepitaxie |0 (DE-588)4156040-1 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m GBV Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=003757097&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-003757097 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804120184075583488 |
|---|---|
| adam_text | UEBER DIE HOMOEPITAKTISCHE ABSCHEIDUNG EINKRISTALLINER
SILIZIUMKARBID-SCHICHTEN AUS DER GASPHASE DEN NATURWISSENSCHAFTLICHEN
FAKULTAETEN DER FRIEDRICH-ALEXANDER-UNIVERSITAET ERLANGEN-NUERNBERG ZUR
ERLANGUNG DES DOKTORGRADES VORGELEGT VON STEPHAN KARMANN AUS UFFENHEIM
INHALTSUEBERSICHT ZUSAMMENFASSUNG . . . . . . . . . . . . . . . . IV I.
EINLEITUNG I.A DAS MATERIAL SILIZIUMKARBID 1. HISTORISCHES . . 1 2.
POLYTYPISMUS ................ 4 3. EIGENSCHAFTEN UND BEDEUTUNG ALS
HALBLEITERMATERIAL .8 I.B GASPHASENEPITAXIE VON SIC 1. DEFINITION UND
ZIELSETZUNG . 10 2. ALTERNATIVEN ZUR CVD ........... 12 3.
LITERATURUEBERSICHT ZUR CVD ........ 14 II. EPITAXIE-APPARATUR ILA
GASVERSORGUNG 1. AUSWAHL DER ARBEITSGASE 19 2. AUFBAU DER GASVERSORGUNG
......... 20 3. REGELUNG DER GASFLUESSE .......... 23 II.*
REAKTIONSSYSTEM 1. REAKTIONSKAMMER 26 2. SUSZEPTOREN ............... 28
3. HEIZUNG ........ . 31 4. TEMPERATURMESSUNG 33 II.*
STANDARD-ZUECHTUNGSPROZESS ............ 35 III. SUBSTRATE III.A
HERSTELLUNG VON SIC-VOLUMENKRISTALLEN 1. ACHESON-KRISTALLE 39 2.
LELY-KRISTALLE ...... 40 3. SUBLIMATION MIT KEIMVORGABE 41 III.*
SUBSTRAT-CHARAKTERISIERUNG 1. POLARITAET ........ 44 2. ORIENTIERUNG
............... 45 3. POLYTYP .......... . 46 III.* POLITUR DER
SUBSTRATE 1. STANDARD-POLITUR ...... 47 2. ALTERNATIVEN ZUR
STANDARD-POLITUR .... 48 3. BEARBEITUNG DER SUBSTRATRUECKSEITEN .... 51
IV. WASSERSTOFF-AETZEN IV.A VORUEBERLEGUNGEN 1. ZIELSETZUNG . 52 2.
ALTERNATIVEN .............. 53 IV.* EXPERIMENTE 1. VARIATION DER
TEMPERATUR . 55 2. EINFLUSS DER AETZDAUER ........... 56 3. ERGEBNISSE
................ 60 4. WEITERE BEOBACHTUNGEN .......... 63 - II - V.
CHARAKTERISIERUNG DER EPITAXIESCHICHTEN V.A SCHICHTDICKENBESTIMMUNG 1.
MASSENDIFFERENZ 65 2. SCHRAEGSCHLIFF UND OXIDATION 66 3. VERGLEICH DER
MESSVERFAHREN 68 4. MASKEN 71 5. ANHANG : ZUSTANDEKOMMEN DER OXIDFARBEN .
. 72 V.B MORPHOLOGIE UND KRISTALLPERFEKTION 1. MIKROSKOPIE 74 2.
DEFEKT-DEKORATION 79 3. RUTHERFORD-RUECKSTREUUNG 82 4. ELEKTRONEN-BEUGUNG
86 V.C OPTISCHE MESSUNGEN 1. PHOTOLUMINESZENZ 88 2. INFRAROT-REFLEXION
90 V.D DOTIERUNG DER SCHICHTEN 1. HALLEFFEKT-MESSUNGEN . 92 2.
CV-MESSUNGEN 93 3. SEKUNDAERIONEN-MASSENSPEKTROSKOPIE .... 96 VI.
HERSTELLUNG DER EPITAXIESCHICHTEN VI.A EINFLUSS DER SUBSTRATPARAMETER 1.
SUBSTRAT-POLYTYP 98 2. SUBSTRAT-ORIENTIERUNG 99 3. EXPERIMENTE AUF DER
C-SEITE 102 VLB VARIATION DER WACHSTUMSPARAMETER 1. ZUECHTUNGSDAUER 106
2. ZUECHTUNGSTEMPERATUR 106 2A.DISKUSSION DER TEMPERATURABHAENGIGKEIT . .
111 3. TRAEGERGAS-FLUSS 113 4. KONZENTRATION DER ARBEITSGASE 116
4A.DISKUSSION ZUR VARIATION DER ARBEITSGAS-FLUESSE ... 122 5. EXPERIMENTE
BEI SILIZIUM-UEBERSCHUSS .... 126 VII. DOTIERUNG DER EPITAXIESCHICHTEN
VII. A NOMINELL UNDOTIERTE SCHICHTEN 1. ERGEBNISSE 130 2. DISKUSSION DER
ERGEBNISSE 131 VII.* STICKSTOFF-DOTIERUNG 1. VARIATION DES
STICKSTOFF-PARTIALDRUCKS . . 135 2. HALLEFFEKT-MESSUNGEN 137 3.
LADUNGSTRAEGER-BEWEGLICHKEIT . 140 4. STICKSTOFF-DOTIERPROFILE 142 VIII.
AUSBLICK * 146 LITERATURVERZEICHNIS . ...... VI - III -
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Karmann, Stephan |
| author_facet | Karmann, Stephan |
| author_role | aut |
| author_sort | Karmann, Stephan |
| author_variant | s k sk |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV005983891 |
| ctrlnum | (OCoLC)46174651 (DE-599)BVBBV005983891 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01535nam a2200373 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV005983891</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19930427 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">921229s1992 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)46174651</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV005983891</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Karmann, Stephan</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Über die homoepitaktische Abscheidung einkristalliner Siliziumkarbid-Schichten aus der Gasphase</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Stephan Karmann</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1992</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">148, X S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1992</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Gasphasenepitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4156040-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumcarbid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4055009-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Siliciumcarbid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4055009-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Gasphasenepitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4156040-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">GBV Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=003757097&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-003757097</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV005983891 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T16:38:03Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-003757097 |
| oclc_num | 46174651 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-12 DE-355 DE-BY-UBR DE-29 DE-29T DE-83 DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-12 DE-355 DE-BY-UBR DE-29 DE-29T DE-83 DE-11 DE-188 |
| physical | 148, X S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1992 |
| publishDateSearch | 1992 |
| publishDateSort | 1992 |
| record_format | marc |
| spelling | Karmann, Stephan Verfasser aut Über die homoepitaktische Abscheidung einkristalliner Siliziumkarbid-Schichten aus der Gasphase vorgelegt von Stephan Karmann 1992 148, X S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1992 Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Gasphasenepitaxie (DE-588)4156040-1 gnd rswk-swf Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Gasphasenepitaxie (DE-588)4156040-1 s DE-604 GBV Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=003757097&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Karmann, Stephan Über die homoepitaktische Abscheidung einkristalliner Siliziumkarbid-Schichten aus der Gasphase Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Gasphasenepitaxie (DE-588)4156040-1 gnd Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4136925-7 (DE-588)4156040-1 (DE-588)4055009-6 (DE-588)4113937-9 |
| title | Über die homoepitaktische Abscheidung einkristalliner Siliziumkarbid-Schichten aus der Gasphase |
| title_auth | Über die homoepitaktische Abscheidung einkristalliner Siliziumkarbid-Schichten aus der Gasphase |
| title_exact_search | Über die homoepitaktische Abscheidung einkristalliner Siliziumkarbid-Schichten aus der Gasphase |
| title_full | Über die homoepitaktische Abscheidung einkristalliner Siliziumkarbid-Schichten aus der Gasphase vorgelegt von Stephan Karmann |
| title_fullStr | Über die homoepitaktische Abscheidung einkristalliner Siliziumkarbid-Schichten aus der Gasphase vorgelegt von Stephan Karmann |
| title_full_unstemmed | Über die homoepitaktische Abscheidung einkristalliner Siliziumkarbid-Schichten aus der Gasphase vorgelegt von Stephan Karmann |
| title_short | Über die homoepitaktische Abscheidung einkristalliner Siliziumkarbid-Schichten aus der Gasphase |
| title_sort | uber die homoepitaktische abscheidung einkristalliner siliziumkarbid schichten aus der gasphase |
| topic | Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Gasphasenepitaxie (DE-588)4156040-1 gnd Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 gnd |
| topic_facet | Dünne Schicht Gasphasenepitaxie Siliciumcarbid Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=003757097&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT karmannstephan uberdiehomoepitaktischeabscheidungeinkristallinersiliziumkarbidschichtenausdergasphase |