Berg, S. (1992). Der Einfluß von Kontaminationseffekten auf die mechanischen Eigenschaften von magnetron-gesputterten TiN-Schichten (Als Ms. gedr.). VDI Verl.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Berg, Siegfried. Der Einfluß Von Kontaminationseffekten Auf Die Mechanischen Eigenschaften Von Magnetron-gesputterten TiN-Schichten. Als Ms. gedr. Düsseldorf: VDI Verl, 1992.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Berg, Siegfried. Der Einfluß Von Kontaminationseffekten Auf Die Mechanischen Eigenschaften Von Magnetron-gesputterten TiN-Schichten. Als Ms. gedr. VDI Verl, 1992.
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