Der Einfluß von Kontaminationseffekten auf die mechanischen Eigenschaften von magnetron-gesputterten TiN-Schichten:
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| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI Verl.
1992
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5]
280 |
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