Herstellung und Charakterisierung von YBa 2 Cu 3 O 7-x ,NdAlO 3 ,YBa 2 Cu 3 O 7-x -Mehrlagen für mikroelektronische Anwendungen:
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Format: | Abschlussarbeit Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
1992
|
Schlagworte: | |
Beschreibung: | V, 173 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | BV005859919 | ||
003 | DE-604 | ||
005 | 19930318 | ||
007 | t | ||
008 | 921020s1992 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
035 | |a (OCoLC)165331567 | ||
035 | |a (DE-599)BVBBV005859919 | ||
040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
041 | 0 | |a ger | |
044 | |a gw |c DE | ||
049 | |a DE-12 |a DE-91 |a DE-29T |a DE-11 |a DE-188 | ||
084 | |a PHY 715d |2 stub | ||
100 | 1 | |a Rauch, Waldemar |e Verfasser |4 aut | |
245 | 1 | 0 | |a Herstellung und Charakterisierung von YBa 2 Cu 3 O 7-x ,NdAlO 3 ,YBa 2 Cu 3 O 7-x -Mehrlagen für mikroelektronische Anwendungen |c Waldemar Rauch |
264 | 1 | |c 1992 | |
300 | |a V, 173 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
336 | |b txt |2 rdacontent | ||
337 | |b n |2 rdamedia | ||
338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
502 | |a München, Techn. Univ., Diss., 1992 | ||
650 | 0 | 7 | |a Keramik |0 (DE-588)4030270-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Hochtemperatursupraleiter |0 (DE-588)4220922-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Yttriumverbindungen |0 (DE-588)4298749-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Bariumverbindungen |0 (DE-588)4254994-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Kupferverbindungen |0 (DE-588)4166177-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Aluminiumverbindungen |0 (DE-588)4282756-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Hochfrequenz |0 (DE-588)4160130-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Neodymverbindungen |0 (DE-588)4326607-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Mehrschichtsystem |0 (DE-588)4244347-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Oxidkeramik |0 (DE-588)4173025-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Dielektrische Schicht |0 (DE-588)4194257-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Elektronisches Bauelement |0 (DE-588)4014360-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
689 | 0 | 0 | |a Yttriumverbindungen |0 (DE-588)4298749-0 |D s |
689 | 0 | 1 | |a Bariumverbindungen |0 (DE-588)4254994-2 |D s |
689 | 0 | 2 | |a Kupferverbindungen |0 (DE-588)4166177-1 |D s |
689 | 0 | 3 | |a Mehrschichtsystem |0 (DE-588)4244347-7 |D s |
689 | 0 | 4 | |a Dielektrische Schicht |0 (DE-588)4194257-7 |D s |
689 | 0 | 5 | |a Elektronisches Bauelement |0 (DE-588)4014360-0 |D s |
689 | 0 | |5 DE-604 | |
689 | 1 | 0 | |a Neodymverbindungen |0 (DE-588)4326607-1 |D s |
689 | 1 | 1 | |a Aluminiumverbindungen |0 (DE-588)4282756-5 |D s |
689 | 1 | 2 | |a Dielektrische Schicht |0 (DE-588)4194257-7 |D s |
689 | 1 | 3 | |a Mehrschichtsystem |0 (DE-588)4244347-7 |D s |
689 | 1 | 4 | |a Oxidkeramik |0 (DE-588)4173025-2 |D s |
689 | 1 | 5 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
689 | 1 | |5 DE-604 | |
689 | 2 | 0 | |a Keramik |0 (DE-588)4030270-2 |D s |
689 | 2 | |8 1\p |5 DE-604 | |
689 | 3 | 0 | |a Hochtemperatursupraleiter |0 (DE-588)4220922-5 |D s |
689 | 3 | |8 2\p |5 DE-604 | |
689 | 4 | 0 | |a Hochfrequenz |0 (DE-588)4160130-0 |D s |
689 | 4 | |8 3\p |5 DE-604 | |
999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-003671208 | ||
883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
883 | 1 | |8 2\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
883 | 1 | |8 3\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
Datensatz im Suchindex
_version_ | 1804120051817644032 |
---|---|
any_adam_object | |
author | Rauch, Waldemar |
author_facet | Rauch, Waldemar |
author_role | aut |
author_sort | Rauch, Waldemar |
author_variant | w r wr |
building | Verbundindex |
bvnumber | BV005859919 |
classification_tum | PHY 715d |
ctrlnum | (OCoLC)165331567 (DE-599)BVBBV005859919 |
discipline | Physik |
format | Thesis Book |
fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>03063nam a2200721 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV005859919</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19930318 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">921020s1992 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)165331567</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV005859919</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 715d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Rauch, Waldemar</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Herstellung und Charakterisierung von YBa 2 Cu 3 O 7-x ,NdAlO 3 ,YBa 2 Cu 3 O 7-x -Mehrlagen für mikroelektronische Anwendungen</subfield><subfield code="c">Waldemar Rauch</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1992</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">V, 173 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">München, Techn. Univ., Diss., 1992</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Keramik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4030270-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Hochtemperatursupraleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4220922-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Yttriumverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4298749-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Bariumverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4254994-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Kupferverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4166177-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Aluminiumverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4282756-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Hochfrequenz</subfield><subfield code="0">(DE-588)4160130-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Neodymverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4326607-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mehrschichtsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4244347-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Oxidkeramik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4173025-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dielektrische Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4194257-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Elektronisches Bauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4014360-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Yttriumverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4298749-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Bariumverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4254994-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Kupferverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4166177-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Mehrschichtsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4244347-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Dielektrische Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4194257-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Elektronisches Bauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4014360-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Neodymverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4326607-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Aluminiumverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4282756-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Dielektrische Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4194257-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Mehrschichtsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4244347-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="4"><subfield code="a">Oxidkeramik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4173025-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="5"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="0"><subfield code="a">Keramik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4030270-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2="0"><subfield code="a">Hochtemperatursupraleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4220922-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="4" ind2="0"><subfield code="a">Hochfrequenz</subfield><subfield code="0">(DE-588)4160130-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="4" ind2=" "><subfield code="8">3\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-003671208</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">3\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield></record></collection> |
genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
genre_facet | Hochschulschrift |
id | DE-604.BV005859919 |
illustrated | Illustrated |
indexdate | 2024-07-09T16:35:57Z |
institution | BVB |
language | German |
oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-003671208 |
oclc_num | 165331567 |
open_access_boolean | |
owner | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-11 DE-188 |
owner_facet | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-11 DE-188 |
physical | V, 173 S. Ill., graph. Darst. |
publishDate | 1992 |
publishDateSearch | 1992 |
publishDateSort | 1992 |
record_format | marc |
spelling | Rauch, Waldemar Verfasser aut Herstellung und Charakterisierung von YBa 2 Cu 3 O 7-x ,NdAlO 3 ,YBa 2 Cu 3 O 7-x -Mehrlagen für mikroelektronische Anwendungen Waldemar Rauch 1992 V, 173 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier München, Techn. Univ., Diss., 1992 Keramik (DE-588)4030270-2 gnd rswk-swf Hochtemperatursupraleiter (DE-588)4220922-5 gnd rswk-swf Yttriumverbindungen (DE-588)4298749-0 gnd rswk-swf Bariumverbindungen (DE-588)4254994-2 gnd rswk-swf Kupferverbindungen (DE-588)4166177-1 gnd rswk-swf Aluminiumverbindungen (DE-588)4282756-5 gnd rswk-swf Hochfrequenz (DE-588)4160130-0 gnd rswk-swf Neodymverbindungen (DE-588)4326607-1 gnd rswk-swf Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd rswk-swf Oxidkeramik (DE-588)4173025-2 gnd rswk-swf Dielektrische Schicht (DE-588)4194257-7 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Elektronisches Bauelement (DE-588)4014360-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Yttriumverbindungen (DE-588)4298749-0 s Bariumverbindungen (DE-588)4254994-2 s Kupferverbindungen (DE-588)4166177-1 s Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 s Dielektrische Schicht (DE-588)4194257-7 s Elektronisches Bauelement (DE-588)4014360-0 s DE-604 Neodymverbindungen (DE-588)4326607-1 s Aluminiumverbindungen (DE-588)4282756-5 s Oxidkeramik (DE-588)4173025-2 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Keramik (DE-588)4030270-2 s 1\p DE-604 Hochtemperatursupraleiter (DE-588)4220922-5 s 2\p DE-604 Hochfrequenz (DE-588)4160130-0 s 3\p DE-604 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 2\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 3\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
spellingShingle | Rauch, Waldemar Herstellung und Charakterisierung von YBa 2 Cu 3 O 7-x ,NdAlO 3 ,YBa 2 Cu 3 O 7-x -Mehrlagen für mikroelektronische Anwendungen Keramik (DE-588)4030270-2 gnd Hochtemperatursupraleiter (DE-588)4220922-5 gnd Yttriumverbindungen (DE-588)4298749-0 gnd Bariumverbindungen (DE-588)4254994-2 gnd Kupferverbindungen (DE-588)4166177-1 gnd Aluminiumverbindungen (DE-588)4282756-5 gnd Hochfrequenz (DE-588)4160130-0 gnd Neodymverbindungen (DE-588)4326607-1 gnd Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd Oxidkeramik (DE-588)4173025-2 gnd Dielektrische Schicht (DE-588)4194257-7 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Elektronisches Bauelement (DE-588)4014360-0 gnd |
subject_GND | (DE-588)4030270-2 (DE-588)4220922-5 (DE-588)4298749-0 (DE-588)4254994-2 (DE-588)4166177-1 (DE-588)4282756-5 (DE-588)4160130-0 (DE-588)4326607-1 (DE-588)4244347-7 (DE-588)4173025-2 (DE-588)4194257-7 (DE-588)4136925-7 (DE-588)4014360-0 (DE-588)4113937-9 |
title | Herstellung und Charakterisierung von YBa 2 Cu 3 O 7-x ,NdAlO 3 ,YBa 2 Cu 3 O 7-x -Mehrlagen für mikroelektronische Anwendungen |
title_auth | Herstellung und Charakterisierung von YBa 2 Cu 3 O 7-x ,NdAlO 3 ,YBa 2 Cu 3 O 7-x -Mehrlagen für mikroelektronische Anwendungen |
title_exact_search | Herstellung und Charakterisierung von YBa 2 Cu 3 O 7-x ,NdAlO 3 ,YBa 2 Cu 3 O 7-x -Mehrlagen für mikroelektronische Anwendungen |
title_full | Herstellung und Charakterisierung von YBa 2 Cu 3 O 7-x ,NdAlO 3 ,YBa 2 Cu 3 O 7-x -Mehrlagen für mikroelektronische Anwendungen Waldemar Rauch |
title_fullStr | Herstellung und Charakterisierung von YBa 2 Cu 3 O 7-x ,NdAlO 3 ,YBa 2 Cu 3 O 7-x -Mehrlagen für mikroelektronische Anwendungen Waldemar Rauch |
title_full_unstemmed | Herstellung und Charakterisierung von YBa 2 Cu 3 O 7-x ,NdAlO 3 ,YBa 2 Cu 3 O 7-x -Mehrlagen für mikroelektronische Anwendungen Waldemar Rauch |
title_short | Herstellung und Charakterisierung von YBa 2 Cu 3 O 7-x ,NdAlO 3 ,YBa 2 Cu 3 O 7-x -Mehrlagen für mikroelektronische Anwendungen |
title_sort | herstellung und charakterisierung von yba 2 cu 3 o 7 x ndalo 3 yba 2 cu 3 o 7 x mehrlagen fur mikroelektronische anwendungen |
topic | Keramik (DE-588)4030270-2 gnd Hochtemperatursupraleiter (DE-588)4220922-5 gnd Yttriumverbindungen (DE-588)4298749-0 gnd Bariumverbindungen (DE-588)4254994-2 gnd Kupferverbindungen (DE-588)4166177-1 gnd Aluminiumverbindungen (DE-588)4282756-5 gnd Hochfrequenz (DE-588)4160130-0 gnd Neodymverbindungen (DE-588)4326607-1 gnd Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd Oxidkeramik (DE-588)4173025-2 gnd Dielektrische Schicht (DE-588)4194257-7 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Elektronisches Bauelement (DE-588)4014360-0 gnd |
topic_facet | Keramik Hochtemperatursupraleiter Yttriumverbindungen Bariumverbindungen Kupferverbindungen Aluminiumverbindungen Hochfrequenz Neodymverbindungen Mehrschichtsystem Oxidkeramik Dielektrische Schicht Dünne Schicht Elektronisches Bauelement Hochschulschrift |
work_keys_str_mv | AT rauchwaldemar herstellungundcharakterisierungvonyba2cu3o7xndalo3yba2cu3o7xmehrlagenfurmikroelektronischeanwendungen |