Mulder, E. H. (1991). On the throughput optimization of electron beam lithography systems.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Mulder, Elvira H. On the Throughput Optimization of Electron Beam Lithography Systems. 1991.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Mulder, Elvira H. On the Throughput Optimization of Electron Beam Lithography Systems. 1991.
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