APA-Zitierstil (7. Ausg.)

Valiev, K. A. (1992). The physics of submicron lithography. Plenum Pr.

Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)

Valiev, Kamilʹ A. The Physics of Submicron Lithography. New York u.a: Plenum Pr, 1992.

MLA-Zitierstil (9. Ausg.)

Valiev, Kamilʹ A. The Physics of Submicron Lithography. Plenum Pr, 1992.