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(1985). Herstellung von Mikrostrukturen mit großem Aspektverhältnis und großer Strukturhöhe durch Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren).

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Herstellung Von Mikrostrukturen Mit Großem Aspektverhältnis Und Großer Strukturhöhe Durch Röntgentiefenlithographie Mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung Und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren). Karlsruhe, 1985.

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Herstellung Von Mikrostrukturen Mit Großem Aspektverhältnis Und Großer Strukturhöhe Durch Röntgentiefenlithographie Mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung Und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren). 1985.