Herstellung von Mikrostrukturen mit großem Aspektverhältnis und großer Strukturhöhe durch Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren):
Gespeichert in:
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| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
1985
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| Schriftenreihe: | Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK
3995 |
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