(1985). Herstellung von Mikrostrukturen mit großem Aspektverhältnis und großer Strukturhöhe durch Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren).
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Herstellung Von Mikrostrukturen Mit Großem Aspektverhältnis Und Großer Strukturhöhe Durch Röntgentiefenlithographie Mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung Und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren). Karlsruhe, 1985.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Herstellung Von Mikrostrukturen Mit Großem Aspektverhältnis Und Großer Strukturhöhe Durch Röntgentiefenlithographie Mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung Und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren). 1985.
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