(1991). Advanced techniques for integrated circuit processing: 1 - 5 October 1990 Santa Clara, California. SPIE.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Advanced Techniques for Integrated Circuit Processing: 1 - 5 October 1990 Santa Clara, California. Bellingham, Wash: SPIE, 1991.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Advanced Techniques for Integrated Circuit Processing: 1 - 5 October 1990 Santa Clara, California. SPIE, 1991.
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