Vollständig ionenimplantierter InP-JFET: Prozessentwicklung und Schichtoptimierung
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1992
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Reihe Elektrotechnik
|
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1992 |
| Beschreibung: | 129 S. graph. Darst. |
| ISBN: | 3861111640 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV005495463 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19930810 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 920720s1992 gw d||| m||| 00||| ger d | ||
| 020 | |a 3861111640 |9 3-86111-164-0 | ||
| 035 | |a (OCoLC)75283062 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV005495463 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-11 | ||
| 084 | |a ELT 293d |2 stub | ||
| 084 | |a ELT 321d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Güldner, Wolfgang |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Vollständig ionenimplantierter InP-JFET |b Prozessentwicklung und Schichtoptimierung |c Wolfgang Güldner |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Aachen |b Shaker |c 1992 | |
| 300 | |a 129 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Reihe Elektrotechnik | |
| 500 | |a Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1992 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Sperrschicht-FET |0 (DE-588)4213138-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Halbleitersubstrat |0 (DE-588)4158813-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ionenimplantation |0 (DE-588)4027606-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Indiumphosphid |0 (DE-588)4161535-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Indiumphosphid |0 (DE-588)4161535-9 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Halbleitersubstrat |0 (DE-588)4158813-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Sperrschicht-FET |0 (DE-588)4213138-8 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Ionenimplantation |0 (DE-588)4027606-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Sperrschicht-FET |0 (DE-588)4213138-8 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Ionenimplantation |0 (DE-588)4027606-5 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-003441860 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804119710765154304 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Güldner, Wolfgang |
| author_facet | Güldner, Wolfgang |
| author_role | aut |
| author_sort | Güldner, Wolfgang |
| author_variant | w g wg |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV005495463 |
| classification_tum | ELT 293d ELT 321d |
| ctrlnum | (OCoLC)75283062 (DE-599)BVBBV005495463 |
| discipline | Elektrotechnik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01676nam a2200481 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV005495463</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19930810 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">920720s1992 gw d||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3861111640</subfield><subfield code="9">3-86111-164-0</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75283062</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV005495463</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 293d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 321d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Güldner, Wolfgang</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Vollständig ionenimplantierter InP-JFET</subfield><subfield code="b">Prozessentwicklung und Schichtoptimierung</subfield><subfield code="c">Wolfgang Güldner</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">1992</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">129 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Reihe Elektrotechnik</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1992</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sperrschicht-FET</subfield><subfield code="0">(DE-588)4213138-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Halbleitersubstrat</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158813-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Indiumphosphid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4161535-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Indiumphosphid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4161535-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Halbleitersubstrat</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158813-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Sperrschicht-FET</subfield><subfield code="0">(DE-588)4213138-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Sperrschicht-FET</subfield><subfield code="0">(DE-588)4213138-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-003441860</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV005495463 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T16:30:31Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3861111640 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-003441860 |
| oclc_num | 75283062 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-11 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-11 |
| physical | 129 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1992 |
| publishDateSearch | 1992 |
| publishDateSort | 1992 |
| publisher | Shaker |
| record_format | marc |
| series2 | Reihe Elektrotechnik |
| spelling | Güldner, Wolfgang Verfasser aut Vollständig ionenimplantierter InP-JFET Prozessentwicklung und Schichtoptimierung Wolfgang Güldner Als Ms. gedr. Aachen Shaker 1992 129 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Reihe Elektrotechnik Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1992 Sperrschicht-FET (DE-588)4213138-8 gnd rswk-swf Halbleitersubstrat (DE-588)4158813-7 gnd rswk-swf Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd rswk-swf Indiumphosphid (DE-588)4161535-9 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Indiumphosphid (DE-588)4161535-9 s Halbleitersubstrat (DE-588)4158813-7 s Sperrschicht-FET (DE-588)4213138-8 s Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 s DE-604 |
| spellingShingle | Güldner, Wolfgang Vollständig ionenimplantierter InP-JFET Prozessentwicklung und Schichtoptimierung Sperrschicht-FET (DE-588)4213138-8 gnd Halbleitersubstrat (DE-588)4158813-7 gnd Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd Indiumphosphid (DE-588)4161535-9 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4213138-8 (DE-588)4158813-7 (DE-588)4027606-5 (DE-588)4161535-9 (DE-588)4113937-9 |
| title | Vollständig ionenimplantierter InP-JFET Prozessentwicklung und Schichtoptimierung |
| title_auth | Vollständig ionenimplantierter InP-JFET Prozessentwicklung und Schichtoptimierung |
| title_exact_search | Vollständig ionenimplantierter InP-JFET Prozessentwicklung und Schichtoptimierung |
| title_full | Vollständig ionenimplantierter InP-JFET Prozessentwicklung und Schichtoptimierung Wolfgang Güldner |
| title_fullStr | Vollständig ionenimplantierter InP-JFET Prozessentwicklung und Schichtoptimierung Wolfgang Güldner |
| title_full_unstemmed | Vollständig ionenimplantierter InP-JFET Prozessentwicklung und Schichtoptimierung Wolfgang Güldner |
| title_short | Vollständig ionenimplantierter InP-JFET |
| title_sort | vollstandig ionenimplantierter inp jfet prozessentwicklung und schichtoptimierung |
| title_sub | Prozessentwicklung und Schichtoptimierung |
| topic | Sperrschicht-FET (DE-588)4213138-8 gnd Halbleitersubstrat (DE-588)4158813-7 gnd Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd Indiumphosphid (DE-588)4161535-9 gnd |
| topic_facet | Sperrschicht-FET Halbleitersubstrat Ionenimplantation Indiumphosphid Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT guldnerwolfgang vollstandigionenimplantierterinpjfetprozessentwicklungundschichtoptimierung |