Advanced processing and characterization technologies: fabrication and characterization of semiconductor optoelectronic devices and integrated circuits ; Clearwater, FL 1991
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: New York 1991
Schriftenreihe:American Institute of Physics <New York, NY>: AIP conference proceedings 227
American Vacuum Society: American Vacuum Society series 10
Schlagworte:
Beschreibung:XIII, 221 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:0883189100

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