Amorphisierung und Spannungsabbau in Silizidfilmen unter Ionenbeschuß:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Jülich
Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibl.
1992
|
| Schriftenreihe: | Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich
2575 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Univ., Diss., 1992 |
| Beschreibung: | 119 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV005452459 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20010820 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 920727s1992 ad|| m||| 00||| gerod | ||
| 035 | |a (OCoLC)75292478 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV005452459 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 | ||
| 084 | |a GEO 422d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 650d |2 stub | ||
| 088 | |a Jül 2575 | ||
| 100 | 1 | |a Hardtke, Christoph |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Amorphisierung und Spannungsabbau in Silizidfilmen unter Ionenbeschuß |c Christoph Hardtke |
| 246 | 1 | 3 | |a Jül 2575 |
| 264 | 1 | |a Jülich |b Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibl. |c 1992 | |
| 300 | |a 119 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich |v 2575 | |
| 500 | |a Zugl.: Aachen, Univ., Diss., 1992 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Germanium |0 (DE-588)4135644-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Amorphisierung |0 (DE-588)4319408-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Metallverbindungen |0 (DE-588)4169640-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicide |0 (DE-588)4268288-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Spannungsrelaxation |0 (DE-588)4471067-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ionenbestrahlung |0 (DE-588)4335201-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicide |0 (DE-588)4268288-5 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Metallverbindungen |0 (DE-588)4169640-2 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Ionenbestrahlung |0 (DE-588)4335201-7 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Germanium |0 (DE-588)4135644-5 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Spannungsrelaxation |0 (DE-588)4471067-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Silicide |0 (DE-588)4268288-5 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Metallverbindungen |0 (DE-588)4169640-2 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 1 | 3 | |a Ionenbestrahlung |0 (DE-588)4335201-7 |D s |
| 689 | 1 | 4 | |a Germanium |0 (DE-588)4135644-5 |D s |
| 689 | 1 | 5 | |a Amorphisierung |0 (DE-588)4319408-4 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich |v 2575 |w (DE-604)BV004194732 |9 2575 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-003410778 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804119662304165888 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Hardtke, Christoph |
| author_facet | Hardtke, Christoph |
| author_role | aut |
| author_sort | Hardtke, Christoph |
| author_variant | c h ch |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV005452459 |
| classification_tum | GEO 422d PHY 650d |
| ctrlnum | (OCoLC)75292478 (DE-599)BVBBV005452459 |
| discipline | Geowissenschaften Physik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02305nam a2200589 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV005452459</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20010820 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">920727s1992 ad|| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75292478</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV005452459</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GEO 422d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 650d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="088" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Jül 2575</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Hardtke, Christoph</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Amorphisierung und Spannungsabbau in Silizidfilmen unter Ionenbeschuß</subfield><subfield code="c">Christoph Hardtke</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Jül 2575</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Jülich</subfield><subfield code="b">Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibl.</subfield><subfield code="c">1992</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">119 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich</subfield><subfield code="v">2575</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Aachen, Univ., Diss., 1992</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Germanium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4135644-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Amorphisierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4319408-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Metallverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169640-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicide</subfield><subfield code="0">(DE-588)4268288-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Spannungsrelaxation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4471067-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ionenbestrahlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4335201-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicide</subfield><subfield code="0">(DE-588)4268288-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Metallverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169640-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Ionenbestrahlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4335201-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Germanium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4135644-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Spannungsrelaxation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4471067-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Silicide</subfield><subfield code="0">(DE-588)4268288-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Metallverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169640-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Ionenbestrahlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4335201-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="4"><subfield code="a">Germanium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4135644-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="5"><subfield code="a">Amorphisierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4319408-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich</subfield><subfield code="v">2575</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV004194732</subfield><subfield code="9">2575</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-003410778</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV005452459 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T16:29:45Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-003410778 |
| oclc_num | 75292478 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | 119 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1992 |
| publishDateSearch | 1992 |
| publishDateSort | 1992 |
| publisher | Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibl. |
| record_format | marc |
| series | Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich |
| series2 | Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich |
| spelling | Hardtke, Christoph Verfasser aut Amorphisierung und Spannungsabbau in Silizidfilmen unter Ionenbeschuß Christoph Hardtke Jül 2575 Jülich Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibl. 1992 119 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich 2575 Zugl.: Aachen, Univ., Diss., 1992 Germanium (DE-588)4135644-5 gnd rswk-swf Amorphisierung (DE-588)4319408-4 gnd rswk-swf Metallverbindungen (DE-588)4169640-2 gnd rswk-swf Silicide (DE-588)4268288-5 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Spannungsrelaxation (DE-588)4471067-7 gnd rswk-swf Ionenbestrahlung (DE-588)4335201-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicide (DE-588)4268288-5 s Metallverbindungen (DE-588)4169640-2 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Ionenbestrahlung (DE-588)4335201-7 s Germanium (DE-588)4135644-5 s Spannungsrelaxation (DE-588)4471067-7 s DE-604 Amorphisierung (DE-588)4319408-4 s Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich 2575 (DE-604)BV004194732 2575 |
| spellingShingle | Hardtke, Christoph Amorphisierung und Spannungsabbau in Silizidfilmen unter Ionenbeschuß Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich Germanium (DE-588)4135644-5 gnd Amorphisierung (DE-588)4319408-4 gnd Metallverbindungen (DE-588)4169640-2 gnd Silicide (DE-588)4268288-5 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Spannungsrelaxation (DE-588)4471067-7 gnd Ionenbestrahlung (DE-588)4335201-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4135644-5 (DE-588)4319408-4 (DE-588)4169640-2 (DE-588)4268288-5 (DE-588)4136925-7 (DE-588)4471067-7 (DE-588)4335201-7 (DE-588)4113937-9 |
| title | Amorphisierung und Spannungsabbau in Silizidfilmen unter Ionenbeschuß |
| title_alt | Jül 2575 |
| title_auth | Amorphisierung und Spannungsabbau in Silizidfilmen unter Ionenbeschuß |
| title_exact_search | Amorphisierung und Spannungsabbau in Silizidfilmen unter Ionenbeschuß |
| title_full | Amorphisierung und Spannungsabbau in Silizidfilmen unter Ionenbeschuß Christoph Hardtke |
| title_fullStr | Amorphisierung und Spannungsabbau in Silizidfilmen unter Ionenbeschuß Christoph Hardtke |
| title_full_unstemmed | Amorphisierung und Spannungsabbau in Silizidfilmen unter Ionenbeschuß Christoph Hardtke |
| title_short | Amorphisierung und Spannungsabbau in Silizidfilmen unter Ionenbeschuß |
| title_sort | amorphisierung und spannungsabbau in silizidfilmen unter ionenbeschuß |
| topic | Germanium (DE-588)4135644-5 gnd Amorphisierung (DE-588)4319408-4 gnd Metallverbindungen (DE-588)4169640-2 gnd Silicide (DE-588)4268288-5 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Spannungsrelaxation (DE-588)4471067-7 gnd Ionenbestrahlung (DE-588)4335201-7 gnd |
| topic_facet | Germanium Amorphisierung Metallverbindungen Silicide Dünne Schicht Spannungsrelaxation Ionenbestrahlung Hochschulschrift |
| volume_link | (DE-604)BV004194732 |
| work_keys_str_mv | AT hardtkechristoph amorphisierungundspannungsabbauinsilizidfilmenunterionenbeschuß AT hardtkechristoph jul2575 |