Abscheidung von amorphem Silizium (a-Si:H) aus an einem heißen Blech zersetztem Silan:
Gespeichert in:
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| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Jülich
Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibl.
1991
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2552 |
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