Untersuchungen zum vertikalen Auflösungsvermögen und der Quantifizierbarkeit an Halb- und Supraleitern mittels der Massenspektrometrie zerstäubter Neutralteilchen (Elektronengas SNMS):
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Aachen
Shaker
1992
|
| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Reihe Elektrotechnik
|
| Subjects: | |
| Physical Description: | II, 115 S. graph. Darst. |
| ISBN: | 3861111101 |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV005399351 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20230213 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 920330s1992 gw d||| m||| 00||| ger d | ||
| 020 | |a 3861111101 |9 3-86111-110-1 | ||
| 035 | |a (OCoLC)75256798 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV005399351 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-634 |a DE-11 | ||
| 084 | |a PHY 716d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 693d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 115d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 160d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Breuer, Uwe |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Untersuchungen zum vertikalen Auflösungsvermögen und der Quantifizierbarkeit an Halb- und Supraleitern mittels der Massenspektrometrie zerstäubter Neutralteilchen (Elektronengas SNMS) |c Uwe Breuer |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Aachen |b Shaker |c 1992 | |
| 300 | |a II, 115 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Reihe Elektrotechnik | |
| 502 | |b Dissertation |c Technische Hochschule Aachen |d 1991 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Drei-Fünf-Halbleiter |0 (DE-588)4150649-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicide |0 (DE-588)4268288-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometrie |0 (DE-588)4301536-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Tiefenprofilmessung |0 (DE-588)4185422-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Hochtemperatursupraleiter |0 (DE-588)4220922-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Drei-Fünf-Halbleiter |0 (DE-588)4150649-2 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Tiefenprofilmessung |0 (DE-588)4185422-6 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometrie |0 (DE-588)4301536-0 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Hochtemperatursupraleiter |0 (DE-588)4220922-5 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Tiefenprofilmessung |0 (DE-588)4185422-6 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometrie |0 (DE-588)4301536-0 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 689 | 2 | 0 | |a Silicide |0 (DE-588)4268288-5 |D s |
| 689 | 2 | 1 | |a Tiefenprofilmessung |0 (DE-588)4185422-6 |D s |
| 689 | 2 | 2 | |a Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometrie |0 (DE-588)4301536-0 |D s |
| 689 | 2 | |5 DE-604 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-003380614 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804119612644655104 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Breuer, Uwe |
| author_facet | Breuer, Uwe |
| author_role | aut |
| author_sort | Breuer, Uwe |
| author_variant | u b ub |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV005399351 |
| classification_tum | PHY 716d PHY 693d PHY 115d PHY 160d |
| ctrlnum | (OCoLC)75256798 (DE-599)BVBBV005399351 |
| discipline | Physik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02232nam a2200565 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV005399351</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20230213 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">920330s1992 gw d||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3861111101</subfield><subfield code="9">3-86111-110-1</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75256798</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV005399351</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 716d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 693d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 115d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 160d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Breuer, Uwe</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Untersuchungen zum vertikalen Auflösungsvermögen und der Quantifizierbarkeit an Halb- und Supraleitern mittels der Massenspektrometrie zerstäubter Neutralteilchen (Elektronengas SNMS)</subfield><subfield code="c">Uwe Breuer</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">1992</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">II, 115 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Reihe Elektrotechnik</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">Dissertation</subfield><subfield code="c">Technische Hochschule Aachen</subfield><subfield code="d">1991</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Drei-Fünf-Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150649-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicide</subfield><subfield code="0">(DE-588)4268288-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4301536-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Tiefenprofilmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185422-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Hochtemperatursupraleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4220922-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Drei-Fünf-Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150649-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Tiefenprofilmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185422-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4301536-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Hochtemperatursupraleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4220922-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Tiefenprofilmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185422-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4301536-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="0"><subfield code="a">Silicide</subfield><subfield code="0">(DE-588)4268288-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="1"><subfield code="a">Tiefenprofilmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185422-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="2"><subfield code="a">Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4301536-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-003380614</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV005399351 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T16:28:58Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3861111101 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-003380614 |
| oclc_num | 75256798 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-634 DE-11 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-634 DE-11 |
| physical | II, 115 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1992 |
| publishDateSearch | 1992 |
| publishDateSort | 1992 |
| publisher | Shaker |
| record_format | marc |
| series2 | Reihe Elektrotechnik |
| spelling | Breuer, Uwe Verfasser aut Untersuchungen zum vertikalen Auflösungsvermögen und der Quantifizierbarkeit an Halb- und Supraleitern mittels der Massenspektrometrie zerstäubter Neutralteilchen (Elektronengas SNMS) Uwe Breuer Als Ms. gedr. Aachen Shaker 1992 II, 115 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Reihe Elektrotechnik Dissertation Technische Hochschule Aachen 1991 Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 gnd rswk-swf Silicide (DE-588)4268288-5 gnd rswk-swf Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometrie (DE-588)4301536-0 gnd rswk-swf Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 gnd rswk-swf Hochtemperatursupraleiter (DE-588)4220922-5 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 s Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 s Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometrie (DE-588)4301536-0 s DE-604 Hochtemperatursupraleiter (DE-588)4220922-5 s Silicide (DE-588)4268288-5 s |
| spellingShingle | Breuer, Uwe Untersuchungen zum vertikalen Auflösungsvermögen und der Quantifizierbarkeit an Halb- und Supraleitern mittels der Massenspektrometrie zerstäubter Neutralteilchen (Elektronengas SNMS) Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 gnd Silicide (DE-588)4268288-5 gnd Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometrie (DE-588)4301536-0 gnd Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 gnd Hochtemperatursupraleiter (DE-588)4220922-5 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4150649-2 (DE-588)4268288-5 (DE-588)4301536-0 (DE-588)4185422-6 (DE-588)4220922-5 (DE-588)4113937-9 |
| title | Untersuchungen zum vertikalen Auflösungsvermögen und der Quantifizierbarkeit an Halb- und Supraleitern mittels der Massenspektrometrie zerstäubter Neutralteilchen (Elektronengas SNMS) |
| title_auth | Untersuchungen zum vertikalen Auflösungsvermögen und der Quantifizierbarkeit an Halb- und Supraleitern mittels der Massenspektrometrie zerstäubter Neutralteilchen (Elektronengas SNMS) |
| title_exact_search | Untersuchungen zum vertikalen Auflösungsvermögen und der Quantifizierbarkeit an Halb- und Supraleitern mittels der Massenspektrometrie zerstäubter Neutralteilchen (Elektronengas SNMS) |
| title_full | Untersuchungen zum vertikalen Auflösungsvermögen und der Quantifizierbarkeit an Halb- und Supraleitern mittels der Massenspektrometrie zerstäubter Neutralteilchen (Elektronengas SNMS) Uwe Breuer |
| title_fullStr | Untersuchungen zum vertikalen Auflösungsvermögen und der Quantifizierbarkeit an Halb- und Supraleitern mittels der Massenspektrometrie zerstäubter Neutralteilchen (Elektronengas SNMS) Uwe Breuer |
| title_full_unstemmed | Untersuchungen zum vertikalen Auflösungsvermögen und der Quantifizierbarkeit an Halb- und Supraleitern mittels der Massenspektrometrie zerstäubter Neutralteilchen (Elektronengas SNMS) Uwe Breuer |
| title_short | Untersuchungen zum vertikalen Auflösungsvermögen und der Quantifizierbarkeit an Halb- und Supraleitern mittels der Massenspektrometrie zerstäubter Neutralteilchen (Elektronengas SNMS) |
| title_sort | untersuchungen zum vertikalen auflosungsvermogen und der quantifizierbarkeit an halb und supraleitern mittels der massenspektrometrie zerstaubter neutralteilchen elektronengas snms |
| topic | Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 gnd Silicide (DE-588)4268288-5 gnd Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometrie (DE-588)4301536-0 gnd Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 gnd Hochtemperatursupraleiter (DE-588)4220922-5 gnd |
| topic_facet | Drei-Fünf-Halbleiter Silicide Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometrie Tiefenprofilmessung Hochtemperatursupraleiter Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT breueruwe untersuchungenzumvertikalenauflosungsvermogenundderquantifizierbarkeitanhalbundsupraleiternmittelsdermassenspektrometriezerstaubterneutralteilchenelektronengassnms |