Untersuchungen zum vertikalen Auflösungsvermögen und der Quantifizierbarkeit an Halb- und Supraleitern mittels der Massenspektrometrie zerstäubter Neutralteilchen (Elektronengas SNMS):
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| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1992
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| Schriftenreihe: | Reihe Elektrotechnik
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