Untersuchung der Beryllium-Diffusion für die Flüssigphasenepitaxie von optimierten AlGaAs/GaAs-Solarzellen:
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| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI Verl.
1992
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| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 6]
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INHALTSVERZEICHNIS
1. EINLEITUNG 1
2. HISTORISCHER UEBERBLICK 3
3. ZUR FKTESIGPHASENEPITAXIE 6
3.1. DER AUFBAU DER APPARATUR 6
3.2. DAS PHASENDIAGRAMM DES SYSTEMS AL-GA-AS 10
3.3. DIE HERSTELLUNG VON EPITAKTISCHEN SCHICHTEN 15
4. DIE DIFFUSION VON BERYLLIUM IN GAAS 20
4.1. DIE PRAEPARATION DER PROBEN 20
4.2. DIE TIEFE DES PN-OBERGANGES 22
4.3. DAS PROFIL DER FREIEN LADUNGSTRAEGER 28
4.4. DER DIFFUSIONSVORGANG 32
4.5. DER VERTEILUNGSKOEFFIZIENT 45
5. BERECHNUNG EINER OPTIMIERTEN SOLARZELLENSTRUKTUR 47
5.1. DIE BESCHREIBUNG DES PHYSIKALISCHEN MODELLS 47
5.2. DIE EINGABEDATEN DER MODELLRECHNUNGEN 56
5.3. ERGEBNISSE DER OPTIMIERUNG 61
6. ZUR TECHNOLOGIE DER AIGAAS/GAAS-SOLARZELLEN 74
6.1. DIE FLOESSIGPHASENEPITAXIE DER AIGAAS/GAAS-SOLARZELLEN 74
6.2. DIE OHMSCHEN KONTAKTE 75
6.3. DIE ANTIREFLEXIONSSCHICHT 79
6.4. DIE VERMESSUNG DER SOLARZELLEN 81
7. ZUSAMMENFASSUNG 94
8. LITERATURVERZEICHNIS 97
9. SYMBOLVERZEICHNIS 112
UEBERSICHT DER VEROEFFENTLICHUNGEN IM ZUSAMMENHANG MIT DIESER ARBEIT 115
V
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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