Untersuchungen zur elektronenlithografischen Herstellung von Belichtungsschablonen für Interdigitalwandlerstrukturen von AOW-Bauelementen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
1986
|
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Dresden, Ingenieurhochsch., Diss. A, 1986 (Nicht für den Austausch) |
| Beschreibung: | 210, [98] Bl. graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV004799193 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19990920 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 920227s1986 d||| m||| 00||| und d | ||
| 035 | |a (OCoLC)630816465 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV004799193 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | |a und | ||
| 049 | |a DE-91 | ||
| 084 | |a ELT 365d |2 stub | ||
| 084 | |a ELT 286d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Schulze, Frank-Peter |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Untersuchungen zur elektronenlithografischen Herstellung von Belichtungsschablonen für Interdigitalwandlerstrukturen von AOW-Bauelementen |c vorgelegt von Frank-Peter Schulze |
| 264 | 1 | |c 1986 | |
| 300 | |a 210, [98] Bl. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Dresden, Ingenieurhochsch., Diss. A, 1986 (Nicht für den Austausch) | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Maske |g Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4282533-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Elektronenstrahllithografie |0 (DE-588)4151897-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Interdigitalwandler |0 (DE-588)4455178-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Interdigitalwandler |0 (DE-588)4455178-2 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Elektronenstrahllithografie |0 (DE-588)4151897-4 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Maske |g Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4282533-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002951557 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804118910621974528 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Schulze, Frank-Peter |
| author_facet | Schulze, Frank-Peter |
| author_role | aut |
| author_sort | Schulze, Frank-Peter |
| author_variant | f p s fps |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV004799193 |
| classification_tum | ELT 365d ELT 286d |
| ctrlnum | (OCoLC)630816465 (DE-599)BVBBV004799193 |
| discipline | Elektrotechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01421nam a2200373 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV004799193</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19990920 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">920227s1986 d||| m||| 00||| und d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)630816465</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV004799193</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">und</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 365d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 286d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schulze, Frank-Peter</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Untersuchungen zur elektronenlithografischen Herstellung von Belichtungsschablonen für Interdigitalwandlerstrukturen von AOW-Bauelementen</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Frank-Peter Schulze</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1986</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">210, [98] Bl.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Dresden, Ingenieurhochsch., Diss. A, 1986 (Nicht für den Austausch)</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Maske</subfield><subfield code="g">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4282533-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Elektronenstrahllithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151897-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Interdigitalwandler</subfield><subfield code="0">(DE-588)4455178-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Interdigitalwandler</subfield><subfield code="0">(DE-588)4455178-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Elektronenstrahllithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151897-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Maske</subfield><subfield code="g">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4282533-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002951557</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV004799193 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T16:17:48Z |
| institution | BVB |
| language | Undetermined |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002951557 |
| oclc_num | 630816465 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | 210, [98] Bl. graph. Darst. |
| publishDate | 1986 |
| publishDateSearch | 1986 |
| publishDateSort | 1986 |
| record_format | marc |
| spelling | Schulze, Frank-Peter Verfasser aut Untersuchungen zur elektronenlithografischen Herstellung von Belichtungsschablonen für Interdigitalwandlerstrukturen von AOW-Bauelementen vorgelegt von Frank-Peter Schulze 1986 210, [98] Bl. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Dresden, Ingenieurhochsch., Diss. A, 1986 (Nicht für den Austausch) Maske Halbleitertechnologie (DE-588)4282533-7 gnd rswk-swf Elektronenstrahllithografie (DE-588)4151897-4 gnd rswk-swf Interdigitalwandler (DE-588)4455178-2 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Interdigitalwandler (DE-588)4455178-2 s Elektronenstrahllithografie (DE-588)4151897-4 s Maske Halbleitertechnologie (DE-588)4282533-7 s DE-604 |
| spellingShingle | Schulze, Frank-Peter Untersuchungen zur elektronenlithografischen Herstellung von Belichtungsschablonen für Interdigitalwandlerstrukturen von AOW-Bauelementen Maske Halbleitertechnologie (DE-588)4282533-7 gnd Elektronenstrahllithografie (DE-588)4151897-4 gnd Interdigitalwandler (DE-588)4455178-2 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4282533-7 (DE-588)4151897-4 (DE-588)4455178-2 (DE-588)4113937-9 |
| title | Untersuchungen zur elektronenlithografischen Herstellung von Belichtungsschablonen für Interdigitalwandlerstrukturen von AOW-Bauelementen |
| title_auth | Untersuchungen zur elektronenlithografischen Herstellung von Belichtungsschablonen für Interdigitalwandlerstrukturen von AOW-Bauelementen |
| title_exact_search | Untersuchungen zur elektronenlithografischen Herstellung von Belichtungsschablonen für Interdigitalwandlerstrukturen von AOW-Bauelementen |
| title_full | Untersuchungen zur elektronenlithografischen Herstellung von Belichtungsschablonen für Interdigitalwandlerstrukturen von AOW-Bauelementen vorgelegt von Frank-Peter Schulze |
| title_fullStr | Untersuchungen zur elektronenlithografischen Herstellung von Belichtungsschablonen für Interdigitalwandlerstrukturen von AOW-Bauelementen vorgelegt von Frank-Peter Schulze |
| title_full_unstemmed | Untersuchungen zur elektronenlithografischen Herstellung von Belichtungsschablonen für Interdigitalwandlerstrukturen von AOW-Bauelementen vorgelegt von Frank-Peter Schulze |
| title_short | Untersuchungen zur elektronenlithografischen Herstellung von Belichtungsschablonen für Interdigitalwandlerstrukturen von AOW-Bauelementen |
| title_sort | untersuchungen zur elektronenlithografischen herstellung von belichtungsschablonen fur interdigitalwandlerstrukturen von aow bauelementen |
| topic | Maske Halbleitertechnologie (DE-588)4282533-7 gnd Elektronenstrahllithografie (DE-588)4151897-4 gnd Interdigitalwandler (DE-588)4455178-2 gnd |
| topic_facet | Maske Halbleitertechnologie Elektronenstrahllithografie Interdigitalwandler Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT schulzefrankpeter untersuchungenzurelektronenlithografischenherstellungvonbelichtungsschablonenfurinterdigitalwandlerstrukturenvonaowbauelementen |