Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie, Grundlagen zur Justierung und Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen:
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Eggenstein, Leopoldshafen
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik
1979
|
| Schriftenreihe: | Bundesministerium für Forschung und Technologie. Forschungsbericht. T. Technolog. Forschung u. Entwicklung. Elektronik
79-69 |
| Beschreibung: | 67 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV004698450 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 920127s1979 ad|| |||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)46023180 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV004698450 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-19 | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie, Grundlagen zur Justierung und Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen |c Von Hermann-Josef Geelen [u.a.] |
| 264 | 1 | |a Eggenstein, Leopoldshafen |b Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |c 1979 | |
| 300 | |a 67 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Bundesministerium für Forschung und Technologie. Forschungsbericht. T. Technolog. Forschung u. Entwicklung. Elektronik |v 79-69 | |
| 700 | 1 | |a Geelen, Hermann-Josef |e Sonstige |4 oth | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002885422 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804118814566121472 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV004698450 |
| ctrlnum | (OCoLC)46023180 (DE-599)BVBBV004698450 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00990nam a2200253 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV004698450</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">920127s1979 ad|| |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)46023180</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV004698450</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-19</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie, Grundlagen zur Justierung und Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen</subfield><subfield code="c">Von Hermann-Josef Geelen [u.a.]</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Eggenstein, Leopoldshafen</subfield><subfield code="b">Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik</subfield><subfield code="c">1979</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">67 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Bundesministerium für Forschung und Technologie. Forschungsbericht. T. Technolog. Forschung u. Entwicklung. Elektronik</subfield><subfield code="v">79-69</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Geelen, Hermann-Josef</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002885422</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV004698450 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T16:16:17Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002885422 |
| oclc_num | 46023180 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-19 DE-BY-UBM |
| owner_facet | DE-19 DE-BY-UBM |
| physical | 67 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1979 |
| publishDateSearch | 1979 |
| publishDateSort | 1979 |
| publisher | Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |
| record_format | marc |
| series2 | Bundesministerium für Forschung und Technologie. Forschungsbericht. T. Technolog. Forschung u. Entwicklung. Elektronik |
| spelling | Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie, Grundlagen zur Justierung und Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen Von Hermann-Josef Geelen [u.a.] Eggenstein, Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1979 67 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Bundesministerium für Forschung und Technologie. Forschungsbericht. T. Technolog. Forschung u. Entwicklung. Elektronik 79-69 Geelen, Hermann-Josef Sonstige oth |
| spellingShingle | Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie, Grundlagen zur Justierung und Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen |
| title | Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie, Grundlagen zur Justierung und Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen |
| title_auth | Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie, Grundlagen zur Justierung und Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen |
| title_exact_search | Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie, Grundlagen zur Justierung und Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen |
| title_full | Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie, Grundlagen zur Justierung und Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen Von Hermann-Josef Geelen [u.a.] |
| title_fullStr | Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie, Grundlagen zur Justierung und Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen Von Hermann-Josef Geelen [u.a.] |
| title_full_unstemmed | Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie, Grundlagen zur Justierung und Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen Von Hermann-Josef Geelen [u.a.] |
| title_short | Automatisierte und hochauslösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie, Grundlagen zur Justierung und Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen |
| title_sort | automatisierte und hochauslosende elektronenstrahl halbleitertechnologie grundlagen zur justierung und physik von halbleiter mikrostrukturen |
| work_keys_str_mv | AT geelenhermannjosef automatisierteundhochauslosendeelektronenstrahlhalbleitertechnologiegrundlagenzurjustierungundphysikvonhalbleitermikrostrukturen |