Herstellung von mikromechanischen Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
1991
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| Schriftenreihe: | Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK
4859 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Karlsruhe, Univ., Diss., 1991. - Auch als: Bericht des Kernforschungszentrums Karlsruhe. 4859 |
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