Untersuchungen an mikrostrukturierten Bandpaßfiltern für das Ferne Infrarot und ihre Herstellung durch Röntgentiefenlithographie und Mikrogalvanoformung:
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Format: | Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH
1991
|
Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
Schriftenreihe: | Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK
4825 |
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