An introduction to semiconductor microtechnology:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Morgan, D. V. (VerfasserIn), Board, K. (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: Chichester u.a. Wiley 1988
Ausgabe:Repr.
Schriftenreihe:A Wiley-Interscience publication
Schlagworte:
Beschreibung:XII, 167 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:0471901482

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