Aufbau und Erprobung eines Elektronenstrahl-Lithographie-Gerätes mit Feldemissionskathode und elektrostatischem Ablenker:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Weidlich, Ernst-Rudolf (VerfasserIn)
Format: Abschlussarbeit Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: 1991
Schlagworte:
Beschreibung:118 S. Ill., graph. Darst.

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