International Conference on Microlithography Wien. (1989). Proceedings of the International Conference on Microlithography: September 20 - 22, 1988, Vienna, Austria. North-Holland u.a.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)International Conference on Microlithography Wien. Proceedings of the International Conference on Microlithography: September 20 - 22, 1988, Vienna, Austria. Amsterdam u.a: North-Holland u.a, 1989.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)International Conference on Microlithography Wien. Proceedings of the International Conference on Microlithography: September 20 - 22, 1988, Vienna, Austria. North-Holland u.a, 1989.
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