Elektronenbestrahlungssysteme zur Strukturerzeugung: Forschungsbericht ; Technologische Forschung und Entwicklung - Elektronik 2 Gerätetechnik und Konstruktion
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1981
Schriftenreihe:Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht / T ...; 81, 91
Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht / T ...
Beschreibung:198 S. zahlr. Ill. u. graph. Darst.

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