Verfügbarkeit: Planungsstrategien zur strömungstechnischen Optimierung von Reinraum-Fertigungsgeräten

Planungsstrategien zur strömungstechnischen Optimierung von Reinraum-Fertigungsgeräten:

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Fischbacher, Johannes 1959- (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	Undetermined
Veröffentlicht:	1990
Schlagworte:	Optimierung Fertigungsmittel Halbleitertechnologie Aerodynamik Strömungstechnik Luftströmung Belüftung Reinraumtechnik Fertigungsanlage Hochschulschrift
Beschreibung:	München, Technische Univ., Diss., 1990
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