Microelectronic materials and processes: [proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Microelectronic Materials and Processes Il Ciocco, Castelvecchio Pascoli, Italy June 30 - July 11, 1986]
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Dordrecht u.a. Kluwer Acad. Pr. 1989
Schriftenreihe:NATO: [Nato ASI series / E] 164
Schlagworte:
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:XIV, 985 S. Ill., zahlr. graph. Darst.
ISBN:0792301471
0792301544

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