Untersuchung der elektrischen Eigenschaften dünner Schichten großer Versetzungsdichte in Silizium mit einem Rasterelektronenmikroskop:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Kolbe, Matthias (VerfasserIn)
Format: Abschlussarbeit Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: 1990
Schlagworte:
Beschreibung:101 S. Ill., graph. Darst.

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