High vacuum production in the microelectronics industry:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Duval, Pierre (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Amsterdam u.a. Elsevier Science Publ. 1988
Schriftenreihe:Plasma technology 2
Schlagworte:
Beschreibung:XIII, 222 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:044442878X

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