Mechanische Relaxationsspektroskopie an Aluminium-Metallisierungsschichten für die Mikroelektronik:
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| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Jülich
Zentralbibliothek d. Kernforschungsanlage
1989
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| Schriftenreihe: | Kernforschungsanlage Jülich des Landes Nordrhein-Westfalen: Berichte der Kernforschungsanlage Jülich
2321 |
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