Fortschritte der Halbleitermeßtechnik und die Mikroelektronik: [Vortrag ... vor der Klasse Physik am 13. April 1989]
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
Akad.-Verl.
1990
|
| Schriftenreihe: | Mathematik, Naturwissenschaften, Technik / Akademie der Wissenschaften der DDR <Berlin, Ost> Sitzungsberichte der Akademie der Wissenschaften der DDR
1990,3 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | 20 S. graph. Darst. |
| ISBN: | 3055008316 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV003667778 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20141021 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 900907s1990 xx d||| |||| 00||| gerod | ||
| 020 | |a 3055008316 |9 3-05-500831-6 | ||
| 035 | |a (OCoLC)246600410 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV003667778 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-384 |a DE-12 |a DE-703 |a DE-355 |a DE-210 |a DE-M100 |a DE-83 |a DE-11 |a DE-188 |a DE-29 | ||
| 084 | |a UX 2350 |0 (DE-625)146952: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Auth, Joachim |d 1930-2011 |e Verfasser |0 (DE-588)105040324X |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Fortschritte der Halbleitermeßtechnik und die Mikroelektronik |b [Vortrag ... vor der Klasse Physik am 13. April 1989] |c Joachim Auth |
| 264 | 1 | |a Berlin |b Akad.-Verl. |c 1990 | |
| 300 | |a 20 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Sitzungsberichte der Akademie der Wissenschaften der DDR / Mathematik, Naturwissenschaften, Technik / Akademie der Wissenschaften der DDR <Berlin, Ost> |v 1990,3 | |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikroelektronik |0 (DE-588)4039207-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Halbleitermesstechnik |0 (DE-588)4158807-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Halbleitermesstechnik |0 (DE-588)4158807-1 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Mikroelektronik |0 (DE-588)4039207-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 800 | 1 | |a Mathematik, Naturwissenschaften, Technik / Akademie der Wissenschaften der DDR <Berlin, Ost> |t Sitzungsberichte der Akademie der Wissenschaften der DDR |v 1990,3 |w (DE-604)BV002537838 |9 1990,3 | |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002335504 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1816050214326239232 |
|---|---|
| adam_text | |
| any_adam_object | |
| author | Auth, Joachim 1930-2011 |
| author_GND | (DE-588)105040324X |
| author_facet | Auth, Joachim 1930-2011 |
| author_role | aut |
| author_sort | Auth, Joachim 1930-2011 |
| author_variant | j a ja |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV003667778 |
| classification_rvk | UX 2350 |
| ctrlnum | (OCoLC)246600410 (DE-599)BVBBV003667778 |
| discipline | Physik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV003667778</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20141021</controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">900907s1990 xx d||| |||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3055008316</subfield><subfield code="9">3-05-500831-6</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)246600410</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV003667778</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-384</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield><subfield code="a">DE-M100</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield><subfield code="a">DE-29</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UX 2350</subfield><subfield code="0">(DE-625)146952:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Auth, Joachim</subfield><subfield code="d">1930-2011</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)105040324X</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Fortschritte der Halbleitermeßtechnik und die Mikroelektronik</subfield><subfield code="b">[Vortrag ... vor der Klasse Physik am 13. April 1989]</subfield><subfield code="c">Joachim Auth</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Berlin</subfield><subfield code="b">Akad.-Verl.</subfield><subfield code="c">1990</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">20 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Sitzungsberichte der Akademie der Wissenschaften der DDR / Mathematik, Naturwissenschaften, Technik / Akademie der Wissenschaften der DDR <Berlin, Ost></subfield><subfield code="v">1990,3</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039207-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Halbleitermesstechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158807-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Halbleitermesstechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158807-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039207-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="800" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Mathematik, Naturwissenschaften, Technik / Akademie der Wissenschaften der DDR <Berlin, Ost></subfield><subfield code="t">Sitzungsberichte der Akademie der Wissenschaften der DDR</subfield><subfield code="v">1990,3</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV002537838</subfield><subfield code="9">1990,3</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002335504</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV003667778 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-11-18T09:00:46Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3055008316 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002335504 |
| oclc_num | 246600410 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-384 DE-12 DE-703 DE-355 DE-BY-UBR DE-210 DE-M100 DE-83 DE-11 DE-188 DE-29 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-384 DE-12 DE-703 DE-355 DE-BY-UBR DE-210 DE-M100 DE-83 DE-11 DE-188 DE-29 |
| physical | 20 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1990 |
| publishDateSearch | 1990 |
| publishDateSort | 1990 |
| publisher | Akad.-Verl. |
| record_format | marc |
| series | Mathematik, Naturwissenschaften, Technik / Akademie der Wissenschaften der DDR <Berlin, Ost> Sitzungsberichte der Akademie der Wissenschaften der DDR |
| series2 | Sitzungsberichte der Akademie der Wissenschaften der DDR / Mathematik, Naturwissenschaften, Technik / Akademie der Wissenschaften der DDR <Berlin, Ost> |
| spelling | Auth, Joachim 1930-2011 Verfasser (DE-588)105040324X aut Fortschritte der Halbleitermeßtechnik und die Mikroelektronik [Vortrag ... vor der Klasse Physik am 13. April 1989] Joachim Auth Berlin Akad.-Verl. 1990 20 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Sitzungsberichte der Akademie der Wissenschaften der DDR / Mathematik, Naturwissenschaften, Technik / Akademie der Wissenschaften der DDR <Berlin, Ost> 1990,3 Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd rswk-swf Halbleitermesstechnik (DE-588)4158807-1 gnd rswk-swf Halbleitermesstechnik (DE-588)4158807-1 s Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 s DE-604 Mathematik, Naturwissenschaften, Technik / Akademie der Wissenschaften der DDR <Berlin, Ost> Sitzungsberichte der Akademie der Wissenschaften der DDR 1990,3 (DE-604)BV002537838 1990,3 |
| spellingShingle | Auth, Joachim 1930-2011 Fortschritte der Halbleitermeßtechnik und die Mikroelektronik [Vortrag ... vor der Klasse Physik am 13. April 1989] Mathematik, Naturwissenschaften, Technik / Akademie der Wissenschaften der DDR <Berlin, Ost> Sitzungsberichte der Akademie der Wissenschaften der DDR Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd Halbleitermesstechnik (DE-588)4158807-1 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4039207-7 (DE-588)4158807-1 |
| title | Fortschritte der Halbleitermeßtechnik und die Mikroelektronik [Vortrag ... vor der Klasse Physik am 13. April 1989] |
| title_auth | Fortschritte der Halbleitermeßtechnik und die Mikroelektronik [Vortrag ... vor der Klasse Physik am 13. April 1989] |
| title_exact_search | Fortschritte der Halbleitermeßtechnik und die Mikroelektronik [Vortrag ... vor der Klasse Physik am 13. April 1989] |
| title_full | Fortschritte der Halbleitermeßtechnik und die Mikroelektronik [Vortrag ... vor der Klasse Physik am 13. April 1989] Joachim Auth |
| title_fullStr | Fortschritte der Halbleitermeßtechnik und die Mikroelektronik [Vortrag ... vor der Klasse Physik am 13. April 1989] Joachim Auth |
| title_full_unstemmed | Fortschritte der Halbleitermeßtechnik und die Mikroelektronik [Vortrag ... vor der Klasse Physik am 13. April 1989] Joachim Auth |
| title_short | Fortschritte der Halbleitermeßtechnik und die Mikroelektronik |
| title_sort | fortschritte der halbleitermeßtechnik und die mikroelektronik vortrag vor der klasse physik am 13 april 1989 |
| title_sub | [Vortrag ... vor der Klasse Physik am 13. April 1989] |
| topic | Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd Halbleitermesstechnik (DE-588)4158807-1 gnd |
| topic_facet | Mikroelektronik Halbleitermesstechnik |
| volume_link | (DE-604)BV002537838 |
| work_keys_str_mv | AT authjoachim fortschrittederhalbleitermeßtechnikunddiemikroelektronikvortragvorderklassephysikam13april1989 |