Technologie und Eigenschaften von integriert optischen Komponenten aus Siliziumoxinitrid:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI Verl.
1990
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Fortschrittberichte VDI / Reihe 10, Angewandte Informatik / Verein Deutscher Ingenieure
133 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Hamburg, Techn. Univ., Diss. Literaturverz. S. 125 - 139 |
| Beschreibung: | 207 S. Ill., graph. Darst. |
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