Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten:
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Format: | Abschlussarbeit Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Berlin ; Heidelberg ; New York ; London ; Paris ; Tokyo ; Hon
Springer
1989
|
Schriftenreihe: | IPA-IAO-Forschung und Praxis
138 |
Schlagworte: | |
Beschreibung: | 123 S. Ill., graph. Darst. |
ISBN: | 3540514570 0387514570 |
Internformat
MARC
LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
---|---|---|---|
001 | BV002460722 | ||
003 | DE-604 | ||
005 | 19900306 | ||
007 | t | ||
008 | 891106s1989 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
020 | |a 3540514570 |9 3-540-51457-0 | ||
020 | |a 0387514570 |9 0-387-51457-0 | ||
035 | |a (OCoLC)23014889 | ||
035 | |a (DE-599)BVBBV002460722 | ||
040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
041 | 0 | |a ger | |
044 | |a gw |c DE | ||
049 | |a DE-91 |a DE-91G |a DE-860 |a DE-83 |a DE-11 |a DE-188 | ||
050 | 0 | |a TK7836 | |
082 | 0 | |a 621.381 |2 20 | |
084 | |a MSR 329d |2 stub | ||
084 | |a CIT 290d |2 stub | ||
100 | 1 | |a Herz, Rolf |e Verfasser |4 aut | |
245 | 1 | 0 | |a Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten |
264 | 1 | |a Berlin ; Heidelberg ; New York ; London ; Paris ; Tokyo ; Hon |b Springer |c 1989 | |
300 | |a 123 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
336 | |b txt |2 rdacontent | ||
337 | |b n |2 rdamedia | ||
338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
490 | 1 | |a IPA-IAO-Forschung und Praxis |v 138 | |
502 | |a Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1989 | ||
650 | 4 | |a Contamination (Technology) | |
650 | 4 | |a Electronic apparatus and appliances |x Design and construction | |
650 | 4 | |a Semiconductors | |
650 | 0 | 7 | |a Teilchenmesstechnik |0 (DE-588)4129617-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Teilchen |0 (DE-588)4059317-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Flüssigkeit |0 (DE-588)4017621-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Reinststoff |0 (DE-588)4177599-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Verunreinigung |0 (DE-588)4188107-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4158814-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Fertigungstechnik |0 (DE-588)4329079-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
689 | 0 | 0 | |a Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4158814-9 |D s |
689 | 0 | 1 | |a Verunreinigung |0 (DE-588)4188107-2 |D s |
689 | 0 | 2 | |a Teilchen |0 (DE-588)4059317-4 |D s |
689 | 0 | 3 | |a Teilchenmesstechnik |0 (DE-588)4129617-5 |D s |
689 | 0 | |5 DE-604 | |
689 | 1 | 0 | |a Fertigungstechnik |0 (DE-588)4329079-6 |D s |
689 | 1 | 1 | |a Flüssigkeit |0 (DE-588)4017621-6 |D s |
689 | 1 | 2 | |a Reinststoff |0 (DE-588)4177599-5 |D s |
689 | 1 | 3 | |a Teilchenmesstechnik |0 (DE-588)4129617-5 |D s |
689 | 1 | |5 DE-604 | |
830 | 0 | |a IPA-IAO-Forschung und Praxis |v 138 |w (DE-604)BV000852131 |9 138 | |
999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001591020 |
Datensatz im Suchindex
_version_ | 1804116875690377216 |
---|---|
any_adam_object | |
author | Herz, Rolf |
author_facet | Herz, Rolf |
author_role | aut |
author_sort | Herz, Rolf |
author_variant | r h rh |
building | Verbundindex |
bvnumber | BV002460722 |
callnumber-first | T - Technology |
callnumber-label | TK7836 |
callnumber-raw | TK7836 |
callnumber-search | TK7836 |
callnumber-sort | TK 47836 |
callnumber-subject | TK - Electrical and Nuclear Engineering |
classification_tum | MSR 329d CIT 290d |
ctrlnum | (OCoLC)23014889 (DE-599)BVBBV002460722 |
dewey-full | 621.381 |
dewey-hundreds | 600 - Technology (Applied sciences) |
dewey-ones | 621 - Applied physics |
dewey-raw | 621.381 |
dewey-search | 621.381 |
dewey-sort | 3621.381 |
dewey-tens | 620 - Engineering and allied operations |
discipline | Chemie-Ingenieurwesen Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik Mess-/Steuerungs-/Regelungs-/Automatisierungstechnik |
format | Thesis Book |
fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02348nam a2200613 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV002460722</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19900306 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">891106s1989 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3540514570</subfield><subfield code="9">3-540-51457-0</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">0387514570</subfield><subfield code="9">0-387-51457-0</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)23014889</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV002460722</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-91G</subfield><subfield code="a">DE-860</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="050" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">TK7836</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">621.381</subfield><subfield code="2">20</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">MSR 329d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">CIT 290d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Herz, Rolf</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Berlin ; Heidelberg ; New York ; London ; Paris ; Tokyo ; Hon</subfield><subfield code="b">Springer</subfield><subfield code="c">1989</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">123 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">IPA-IAO-Forschung und Praxis</subfield><subfield code="v">138</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1989</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Contamination (Technology)</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Electronic apparatus and appliances</subfield><subfield code="x">Design and construction</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Semiconductors</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Teilchenmesstechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4129617-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Teilchen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4059317-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Flüssigkeit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4017621-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Reinststoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4177599-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Verunreinigung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4188107-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158814-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Fertigungstechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4329079-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158814-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Verunreinigung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4188107-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Teilchen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4059317-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Teilchenmesstechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4129617-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Fertigungstechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4329079-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Flüssigkeit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4017621-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Reinststoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4177599-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Teilchenmesstechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4129617-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">IPA-IAO-Forschung und Praxis</subfield><subfield code="v">138</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000852131</subfield><subfield code="9">138</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001591020</subfield></datafield></record></collection> |
genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
genre_facet | Hochschulschrift |
id | DE-604.BV002460722 |
illustrated | Illustrated |
indexdate | 2024-07-09T15:45:28Z |
institution | BVB |
isbn | 3540514570 0387514570 |
language | German |
oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001591020 |
oclc_num | 23014889 |
open_access_boolean | |
owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-91G DE-BY-TUM DE-860 DE-83 DE-11 DE-188 |
owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-91G DE-BY-TUM DE-860 DE-83 DE-11 DE-188 |
physical | 123 S. Ill., graph. Darst. |
publishDate | 1989 |
publishDateSearch | 1989 |
publishDateSort | 1989 |
publisher | Springer |
record_format | marc |
series | IPA-IAO-Forschung und Praxis |
series2 | IPA-IAO-Forschung und Praxis |
spelling | Herz, Rolf Verfasser aut Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten Berlin ; Heidelberg ; New York ; London ; Paris ; Tokyo ; Hon Springer 1989 123 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier IPA-IAO-Forschung und Praxis 138 Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1989 Contamination (Technology) Electronic apparatus and appliances Design and construction Semiconductors Teilchenmesstechnik (DE-588)4129617-5 gnd rswk-swf Teilchen (DE-588)4059317-4 gnd rswk-swf Flüssigkeit (DE-588)4017621-6 gnd rswk-swf Reinststoff (DE-588)4177599-5 gnd rswk-swf Verunreinigung (DE-588)4188107-2 gnd rswk-swf Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 gnd rswk-swf Fertigungstechnik (DE-588)4329079-6 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 s Verunreinigung (DE-588)4188107-2 s Teilchen (DE-588)4059317-4 s Teilchenmesstechnik (DE-588)4129617-5 s DE-604 Fertigungstechnik (DE-588)4329079-6 s Flüssigkeit (DE-588)4017621-6 s Reinststoff (DE-588)4177599-5 s IPA-IAO-Forschung und Praxis 138 (DE-604)BV000852131 138 |
spellingShingle | Herz, Rolf Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten IPA-IAO-Forschung und Praxis Contamination (Technology) Electronic apparatus and appliances Design and construction Semiconductors Teilchenmesstechnik (DE-588)4129617-5 gnd Teilchen (DE-588)4059317-4 gnd Flüssigkeit (DE-588)4017621-6 gnd Reinststoff (DE-588)4177599-5 gnd Verunreinigung (DE-588)4188107-2 gnd Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 gnd Fertigungstechnik (DE-588)4329079-6 gnd |
subject_GND | (DE-588)4129617-5 (DE-588)4059317-4 (DE-588)4017621-6 (DE-588)4177599-5 (DE-588)4188107-2 (DE-588)4158814-9 (DE-588)4329079-6 (DE-588)4113937-9 |
title | Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten |
title_auth | Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten |
title_exact_search | Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten |
title_full | Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten |
title_fullStr | Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten |
title_full_unstemmed | Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten |
title_short | Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten |
title_sort | verfahren zur prufung der partikelkontamination in versorgungssystemen fur hochreine flussigkeiten |
topic | Contamination (Technology) Electronic apparatus and appliances Design and construction Semiconductors Teilchenmesstechnik (DE-588)4129617-5 gnd Teilchen (DE-588)4059317-4 gnd Flüssigkeit (DE-588)4017621-6 gnd Reinststoff (DE-588)4177599-5 gnd Verunreinigung (DE-588)4188107-2 gnd Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 gnd Fertigungstechnik (DE-588)4329079-6 gnd |
topic_facet | Contamination (Technology) Electronic apparatus and appliances Design and construction Semiconductors Teilchenmesstechnik Teilchen Flüssigkeit Reinststoff Verunreinigung Halbleitertechnologie Fertigungstechnik Hochschulschrift |
volume_link | (DE-604)BV000852131 |
work_keys_str_mv | AT herzrolf verfahrenzurprufungderpartikelkontaminationinversorgungssystemenfurhochreineflussigkeiten |