Ein Beitrag zur reaktiven Abscheidung metastabiler Hartstoffschichten:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1989
|
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5]
168 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1989 |
| Beschreibung: | V, 133 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3181468053 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV002452962 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20040308 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 891009s1989 gw ad|| mm|| 00||| ger d | ||
| 020 | |a 3181468053 |9 3-18-146805-3 | ||
| 035 | |a (OCoLC)45640283 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV002452962 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-210 |a DE-29T |a DE-83 |a DE-11 |a DE-B1550 | ||
| 084 | |a FER 882d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Barimani, Arman |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Ein Beitrag zur reaktiven Abscheidung metastabiler Hartstoffschichten |c Arman Barimani |
| 264 | 1 | |a Düsseldorf |b VDI-Verl. |c 1989 | |
| 300 | |a V, 133 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5] |v 168 | |
| 500 | |a Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1989 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Metastabiler Zustand |0 (DE-588)4169654-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Beschichtung |0 (DE-588)4144863-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Magnetronsputtern |0 (DE-588)4208514-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Hartstoff |0 (DE-588)4023555-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 655 | 7 | |a Reaktive Abscheidung |2 gnd |9 rswk-swf | |
| 689 | 0 | 0 | |a Magnetronsputtern |0 (DE-588)4208514-7 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Hartstoff |0 (DE-588)4023555-5 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Metastabiler Zustand |0 (DE-588)4169654-2 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Hartstoff |0 (DE-588)4023555-5 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Beschichtung |0 (DE-588)4144863-7 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Reaktive Abscheidung |A f |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 810 | 2 | |a 5] |t Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI |v 168 |w (DE-604)BV000016442 |9 168 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001587611 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804116870498877440 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Barimani, Arman |
| author_facet | Barimani, Arman |
| author_role | aut |
| author_sort | Barimani, Arman |
| author_variant | a b ab |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV002452962 |
| classification_tum | FER 882d |
| ctrlnum | (OCoLC)45640283 (DE-599)BVBBV002452962 |
| discipline | Fertigungstechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01813nam a2200481 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV002452962</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20040308 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">891009s1989 gw ad|| mm|| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3181468053</subfield><subfield code="9">3-18-146805-3</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)45640283</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV002452962</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-B1550</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 882d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Barimani, Arman</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Ein Beitrag zur reaktiven Abscheidung metastabiler Hartstoffschichten</subfield><subfield code="c">Arman Barimani</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Düsseldorf</subfield><subfield code="b">VDI-Verl.</subfield><subfield code="c">1989</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">V, 133 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5]</subfield><subfield code="v">168</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1989</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Metastabiler Zustand</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169654-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Beschichtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4144863-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Magnetronsputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4208514-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Hartstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4023555-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Reaktive Abscheidung</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Magnetronsputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4208514-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Hartstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4023555-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Metastabiler Zustand</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169654-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Hartstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4023555-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Beschichtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4144863-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Reaktive Abscheidung</subfield><subfield code="A">f</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">5]</subfield><subfield code="t">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI</subfield><subfield code="v">168</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000016442</subfield><subfield code="9">168</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001587611</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Reaktive Abscheidung gnd |
| genre_facet | Hochschulschrift Reaktive Abscheidung |
| id | DE-604.BV002452962 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T15:45:23Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3181468053 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001587611 |
| oclc_num | 45640283 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-210 DE-29T DE-83 DE-11 DE-B1550 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-210 DE-29T DE-83 DE-11 DE-B1550 |
| physical | V, 133 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1989 |
| publishDateSearch | 1989 |
| publishDateSort | 1989 |
| publisher | VDI-Verl. |
| record_format | marc |
| series2 | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5] |
| spelling | Barimani, Arman Verfasser aut Ein Beitrag zur reaktiven Abscheidung metastabiler Hartstoffschichten Arman Barimani Düsseldorf VDI-Verl. 1989 V, 133 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5] 168 Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1989 Metastabiler Zustand (DE-588)4169654-2 gnd rswk-swf Beschichtung (DE-588)4144863-7 gnd rswk-swf Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd rswk-swf Hartstoff (DE-588)4023555-5 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Reaktive Abscheidung gnd rswk-swf Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 s Hartstoff (DE-588)4023555-5 s Metastabiler Zustand (DE-588)4169654-2 s DE-604 Beschichtung (DE-588)4144863-7 s Reaktive Abscheidung f 5] Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI 168 (DE-604)BV000016442 168 |
| spellingShingle | Barimani, Arman Ein Beitrag zur reaktiven Abscheidung metastabiler Hartstoffschichten Metastabiler Zustand (DE-588)4169654-2 gnd Beschichtung (DE-588)4144863-7 gnd Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd Hartstoff (DE-588)4023555-5 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4169654-2 (DE-588)4144863-7 (DE-588)4208514-7 (DE-588)4023555-5 (DE-588)4113937-9 |
| title | Ein Beitrag zur reaktiven Abscheidung metastabiler Hartstoffschichten |
| title_auth | Ein Beitrag zur reaktiven Abscheidung metastabiler Hartstoffschichten |
| title_exact_search | Ein Beitrag zur reaktiven Abscheidung metastabiler Hartstoffschichten |
| title_full | Ein Beitrag zur reaktiven Abscheidung metastabiler Hartstoffschichten Arman Barimani |
| title_fullStr | Ein Beitrag zur reaktiven Abscheidung metastabiler Hartstoffschichten Arman Barimani |
| title_full_unstemmed | Ein Beitrag zur reaktiven Abscheidung metastabiler Hartstoffschichten Arman Barimani |
| title_short | Ein Beitrag zur reaktiven Abscheidung metastabiler Hartstoffschichten |
| title_sort | ein beitrag zur reaktiven abscheidung metastabiler hartstoffschichten |
| topic | Metastabiler Zustand (DE-588)4169654-2 gnd Beschichtung (DE-588)4144863-7 gnd Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd Hartstoff (DE-588)4023555-5 gnd |
| topic_facet | Metastabiler Zustand Beschichtung Magnetronsputtern Hartstoff Hochschulschrift Reaktive Abscheidung |
| volume_link | (DE-604)BV000016442 |
| work_keys_str_mv | AT barimaniarman einbeitragzurreaktivenabscheidungmetastabilerhartstoffschichten |