(1984). Dry etching for microelectronics. North-Holland Phys. Publ.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Dry Etching for Microelectronics. Amsterdam u.a: North-Holland Phys. Publ, 1984.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Dry Etching for Microelectronics. North-Holland Phys. Publ, 1984.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.