Ein Laserscanner für direktschreibende Lithographie:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1988
|
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Heidelberg, Univ., Diss. |
| Beschreibung: | 106 S. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV002239172 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19940302 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 891121s1988 m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)46151212 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV002239172 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-19 |a DE-91 |a DE-703 |a DE-355 |a DE-29T |a DE-83 |a DE-11 | ||
| 084 | |a ELT 285d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Rensch, Clemens |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Ein Laserscanner für direktschreibende Lithographie |c vorgelegt von Clemens Rensch |
| 264 | 1 | |c 1988 | |
| 300 | |a 106 S. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Heidelberg, Univ., Diss. | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Laserscanner |0 (DE-588)4419104-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Laser |0 (DE-588)4034610-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Lithografie |g Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4191584-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Lithografie |g Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4191584-7 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Laser |0 (DE-588)4034610-9 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Laserscanner |0 (DE-588)4419104-2 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Lithografie |g Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4191584-7 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001471620 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804116694790045696 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Rensch, Clemens |
| author_facet | Rensch, Clemens |
| author_role | aut |
| author_sort | Rensch, Clemens |
| author_variant | c r cr |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV002239172 |
| classification_tum | ELT 285d |
| ctrlnum | (OCoLC)46151212 (DE-599)BVBBV002239172 |
| discipline | Elektrotechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01326nam a2200385 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV002239172</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19940302 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">891121s1988 m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)46151212</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV002239172</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-19</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 285d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Rensch, Clemens</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Ein Laserscanner für direktschreibende Lithographie</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Clemens Rensch</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1988</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">106 S.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Heidelberg, Univ., Diss.</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Laserscanner</subfield><subfield code="0">(DE-588)4419104-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Laser</subfield><subfield code="0">(DE-588)4034610-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Lithografie</subfield><subfield code="g">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4191584-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Lithografie</subfield><subfield code="g">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4191584-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Laser</subfield><subfield code="0">(DE-588)4034610-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Laserscanner</subfield><subfield code="0">(DE-588)4419104-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Lithografie</subfield><subfield code="g">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4191584-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001471620</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV002239172 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T15:42:35Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001471620 |
| oclc_num | 46151212 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-19 DE-BY-UBM DE-91 DE-BY-TUM DE-703 DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-83 DE-11 |
| owner_facet | DE-19 DE-BY-UBM DE-91 DE-BY-TUM DE-703 DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-83 DE-11 |
| physical | 106 S. |
| publishDate | 1988 |
| publishDateSearch | 1988 |
| publishDateSort | 1988 |
| record_format | marc |
| spelling | Rensch, Clemens Verfasser aut Ein Laserscanner für direktschreibende Lithographie vorgelegt von Clemens Rensch 1988 106 S. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Heidelberg, Univ., Diss. Laserscanner (DE-588)4419104-2 gnd rswk-swf Laser (DE-588)4034610-9 gnd rswk-swf Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 s Laser (DE-588)4034610-9 s DE-604 Laserscanner (DE-588)4419104-2 s |
| spellingShingle | Rensch, Clemens Ein Laserscanner für direktschreibende Lithographie Laserscanner (DE-588)4419104-2 gnd Laser (DE-588)4034610-9 gnd Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4419104-2 (DE-588)4034610-9 (DE-588)4191584-7 (DE-588)4113937-9 |
| title | Ein Laserscanner für direktschreibende Lithographie |
| title_auth | Ein Laserscanner für direktschreibende Lithographie |
| title_exact_search | Ein Laserscanner für direktschreibende Lithographie |
| title_full | Ein Laserscanner für direktschreibende Lithographie vorgelegt von Clemens Rensch |
| title_fullStr | Ein Laserscanner für direktschreibende Lithographie vorgelegt von Clemens Rensch |
| title_full_unstemmed | Ein Laserscanner für direktschreibende Lithographie vorgelegt von Clemens Rensch |
| title_short | Ein Laserscanner für direktschreibende Lithographie |
| title_sort | ein laserscanner fur direktschreibende lithographie |
| topic | Laserscanner (DE-588)4419104-2 gnd Laser (DE-588)4034610-9 gnd Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 gnd |
| topic_facet | Laserscanner Laser Lithografie Halbleitertechnologie Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT renschclemens einlaserscannerfurdirektschreibendelithographie |