Ellipsometrische Messungen an amorphen Metallschichten während und nach dem Aufdampfen und die Bestimmung der Dicke, der optischen Konstanten und der Dichte dieser Schichten:
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Format: | Abschlussarbeit Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
1988
|
Schlagworte: | |
Beschreibung: | III, 65, 29 S. graph. Darst. |
Internformat
MARC
LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | BV002219778 | ||
003 | DE-604 | ||
005 | 00000000000000.0 | ||
007 | t | ||
008 | 890928s1988 d||| m||| 00||| ger d | ||
035 | |a (OCoLC)46207880 | ||
035 | |a (DE-599)BVBBV002219778 | ||
040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
041 | 0 | |a ger | |
049 | |a DE-91 |a DE-19 |a DE-384 |a DE-355 |a DE-29T |a DE-188 | ||
084 | |a PHY 658d |2 stub | ||
084 | |a PHY 623d |2 stub | ||
100 | 1 | |a Bohn, Johannes M. |e Verfasser |4 aut | |
245 | 1 | 0 | |a Ellipsometrische Messungen an amorphen Metallschichten während und nach dem Aufdampfen und die Bestimmung der Dicke, der optischen Konstanten und der Dichte dieser Schichten |
264 | 1 | |c 1988 | |
300 | |a III, 65, 29 S. |b graph. Darst. | ||
336 | |b txt |2 rdacontent | ||
337 | |b n |2 rdamedia | ||
338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
502 | |a Karlsruhe, Univ., Diss., 1988 | ||
650 | 0 | 7 | |a Metallisches Glas |0 (DE-588)4038893-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Dichtebestimmung |0 (DE-588)4132439-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Ellipsometrie |0 (DE-588)4152025-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
689 | 0 | 0 | |a Metallisches Glas |0 (DE-588)4038893-1 |D s |
689 | 0 | 1 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
689 | 0 | 2 | |a Dichtebestimmung |0 (DE-588)4132439-0 |D s |
689 | 0 | 3 | |a Ellipsometrie |0 (DE-588)4152025-7 |D s |
689 | 0 | |5 DE-604 | |
689 | 1 | 0 | |a Metallisches Glas |0 (DE-588)4038893-1 |D s |
689 | 1 | 1 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
689 | 1 | 2 | |a Ellipsometrie |0 (DE-588)4152025-7 |D s |
689 | 1 | |5 DE-604 | |
999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001457896 |
Datensatz im Suchindex
_version_ | 1804116674209644544 |
---|---|
any_adam_object | |
author | Bohn, Johannes M. |
author_facet | Bohn, Johannes M. |
author_role | aut |
author_sort | Bohn, Johannes M. |
author_variant | j m b jm jmb |
building | Verbundindex |
bvnumber | BV002219778 |
classification_tum | PHY 658d PHY 623d |
ctrlnum | (OCoLC)46207880 (DE-599)BVBBV002219778 |
discipline | Physik |
format | Thesis Book |
fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01665nam a2200445 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV002219778</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">890928s1988 d||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)46207880</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV002219778</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-19</subfield><subfield code="a">DE-384</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 658d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 623d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Bohn, Johannes M.</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Ellipsometrische Messungen an amorphen Metallschichten während und nach dem Aufdampfen und die Bestimmung der Dicke, der optischen Konstanten und der Dichte dieser Schichten</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1988</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">III, 65, 29 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Karlsruhe, Univ., Diss., 1988</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Metallisches Glas</subfield><subfield code="0">(DE-588)4038893-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dichtebestimmung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4132439-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ellipsometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152025-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Metallisches Glas</subfield><subfield code="0">(DE-588)4038893-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Dichtebestimmung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4132439-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Ellipsometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152025-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Metallisches Glas</subfield><subfield code="0">(DE-588)4038893-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Ellipsometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152025-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001457896</subfield></datafield></record></collection> |
genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
genre_facet | Hochschulschrift |
id | DE-604.BV002219778 |
illustrated | Illustrated |
indexdate | 2024-07-09T15:42:15Z |
institution | BVB |
language | German |
oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001457896 |
oclc_num | 46207880 |
open_access_boolean | |
owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-19 DE-BY-UBM DE-384 DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-188 |
owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-19 DE-BY-UBM DE-384 DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-188 |
physical | III, 65, 29 S. graph. Darst. |
publishDate | 1988 |
publishDateSearch | 1988 |
publishDateSort | 1988 |
record_format | marc |
spelling | Bohn, Johannes M. Verfasser aut Ellipsometrische Messungen an amorphen Metallschichten während und nach dem Aufdampfen und die Bestimmung der Dicke, der optischen Konstanten und der Dichte dieser Schichten 1988 III, 65, 29 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Karlsruhe, Univ., Diss., 1988 Metallisches Glas (DE-588)4038893-1 gnd rswk-swf Dichtebestimmung (DE-588)4132439-0 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Metallisches Glas (DE-588)4038893-1 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Dichtebestimmung (DE-588)4132439-0 s Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 s DE-604 |
spellingShingle | Bohn, Johannes M. Ellipsometrische Messungen an amorphen Metallschichten während und nach dem Aufdampfen und die Bestimmung der Dicke, der optischen Konstanten und der Dichte dieser Schichten Metallisches Glas (DE-588)4038893-1 gnd Dichtebestimmung (DE-588)4132439-0 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 gnd |
subject_GND | (DE-588)4038893-1 (DE-588)4132439-0 (DE-588)4136925-7 (DE-588)4152025-7 (DE-588)4113937-9 |
title | Ellipsometrische Messungen an amorphen Metallschichten während und nach dem Aufdampfen und die Bestimmung der Dicke, der optischen Konstanten und der Dichte dieser Schichten |
title_auth | Ellipsometrische Messungen an amorphen Metallschichten während und nach dem Aufdampfen und die Bestimmung der Dicke, der optischen Konstanten und der Dichte dieser Schichten |
title_exact_search | Ellipsometrische Messungen an amorphen Metallschichten während und nach dem Aufdampfen und die Bestimmung der Dicke, der optischen Konstanten und der Dichte dieser Schichten |
title_full | Ellipsometrische Messungen an amorphen Metallschichten während und nach dem Aufdampfen und die Bestimmung der Dicke, der optischen Konstanten und der Dichte dieser Schichten |
title_fullStr | Ellipsometrische Messungen an amorphen Metallschichten während und nach dem Aufdampfen und die Bestimmung der Dicke, der optischen Konstanten und der Dichte dieser Schichten |
title_full_unstemmed | Ellipsometrische Messungen an amorphen Metallschichten während und nach dem Aufdampfen und die Bestimmung der Dicke, der optischen Konstanten und der Dichte dieser Schichten |
title_short | Ellipsometrische Messungen an amorphen Metallschichten während und nach dem Aufdampfen und die Bestimmung der Dicke, der optischen Konstanten und der Dichte dieser Schichten |
title_sort | ellipsometrische messungen an amorphen metallschichten wahrend und nach dem aufdampfen und die bestimmung der dicke der optischen konstanten und der dichte dieser schichten |
topic | Metallisches Glas (DE-588)4038893-1 gnd Dichtebestimmung (DE-588)4132439-0 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 gnd |
topic_facet | Metallisches Glas Dichtebestimmung Dünne Schicht Ellipsometrie Hochschulschrift |
work_keys_str_mv | AT bohnjohannesm ellipsometrischemessungenanamorphenmetallschichtenwahrendundnachdemaufdampfenunddiebestimmungderdickederoptischenkonstantenundderdichtedieserschichten |