Kapazitive Feuchtesensoren in Tantal-Dünnschichttechnik:
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Format: | Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI Verl.
1988
|
Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI / 08.
163. |
Schlagworte: | |
Beschreibung: | Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss. |
Beschreibung: | 152 S. zahlr. graph. Darst. |
ISBN: | 3181463086 |
Internformat
MARC
LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
---|---|---|---|
001 | BV002214732 | ||
003 | DE-604 | ||
005 | 00000000000000.0 | ||
007 | t | ||
008 | 890928s1988 d||| m||| 00||| ger d | ||
020 | |a 3181463086 |9 3-18-146308-6 | ||
035 | |a (OCoLC)246270002 | ||
035 | |a (DE-599)BVBBV002214732 | ||
040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
041 | 0 | |a ger | |
049 | |a DE-91 |a DE-210 |a DE-83 |a DE-11 |a DE-B1550 | ||
084 | |a MSR 355d |2 stub | ||
100 | 1 | |a Borgwardt, Christian |e Verfasser |4 aut | |
245 | 1 | 0 | |a Kapazitive Feuchtesensoren in Tantal-Dünnschichttechnik |
250 | |a Als Ms. gedr. | ||
264 | 1 | |a Düsseldorf |b VDI Verl. |c 1988 | |
300 | |a 152 S. |b zahlr. graph. Darst. | ||
336 | |b txt |2 rdacontent | ||
337 | |b n |2 rdamedia | ||
338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
490 | 1 | |a Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI / 08. |v 163. | |
500 | |a Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss. | ||
650 | 0 | 7 | |a Dünnschichttechnik |0 (DE-588)4136339-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Kapazitätsmessung |0 (DE-588)4206536-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Feuchtigkeitssensor |0 (DE-588)4154251-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Tantal |0 (DE-588)4059023-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
689 | 0 | 0 | |a Feuchtigkeitssensor |0 (DE-588)4154251-4 |D s |
689 | 0 | 1 | |a Kapazitätsmessung |0 (DE-588)4206536-7 |D s |
689 | 0 | 2 | |a Tantal |0 (DE-588)4059023-9 |D s |
689 | 0 | 3 | |a Dünnschichttechnik |0 (DE-588)4136339-5 |D s |
689 | 0 | |5 DE-604 | |
810 | 2 | |a 08. |t Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI |v 163. |w (DE-604)BV000882482 |9 163. | |
999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001454703 |
Datensatz im Suchindex
_version_ | 1804116669288677376 |
---|---|
any_adam_object | |
author | Borgwardt, Christian |
author_facet | Borgwardt, Christian |
author_role | aut |
author_sort | Borgwardt, Christian |
author_variant | c b cb |
building | Verbundindex |
bvnumber | BV002214732 |
classification_tum | MSR 355d |
ctrlnum | (OCoLC)246270002 (DE-599)BVBBV002214732 |
discipline | Mess-/Steuerungs-/Regelungs-/Automatisierungstechnik |
edition | Als Ms. gedr. |
format | Book |
fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01619nam a2200433 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV002214732</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">890928s1988 d||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3181463086</subfield><subfield code="9">3-18-146308-6</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)246270002</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV002214732</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-B1550</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">MSR 355d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Borgwardt, Christian</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Kapazitive Feuchtesensoren in Tantal-Dünnschichttechnik</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Düsseldorf</subfield><subfield code="b">VDI Verl.</subfield><subfield code="c">1988</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">152 S.</subfield><subfield code="b">zahlr. graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI / 08.</subfield><subfield code="v">163.</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss.</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünnschichttechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136339-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Kapazitätsmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4206536-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Feuchtigkeitssensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4154251-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Tantal</subfield><subfield code="0">(DE-588)4059023-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Feuchtigkeitssensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4154251-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Kapazitätsmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4206536-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Tantal</subfield><subfield code="0">(DE-588)4059023-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Dünnschichttechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136339-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">08.</subfield><subfield code="t">Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI</subfield><subfield code="v">163.</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000882482</subfield><subfield code="9">163.</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001454703</subfield></datafield></record></collection> |
genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
genre_facet | Hochschulschrift |
id | DE-604.BV002214732 |
illustrated | Illustrated |
indexdate | 2024-07-09T15:42:11Z |
institution | BVB |
isbn | 3181463086 |
language | German |
oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-001454703 |
oclc_num | 246270002 |
open_access_boolean | |
owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-210 DE-83 DE-11 DE-B1550 |
owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-210 DE-83 DE-11 DE-B1550 |
physical | 152 S. zahlr. graph. Darst. |
publishDate | 1988 |
publishDateSearch | 1988 |
publishDateSort | 1988 |
publisher | VDI Verl. |
record_format | marc |
series2 | Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI / 08. |
spelling | Borgwardt, Christian Verfasser aut Kapazitive Feuchtesensoren in Tantal-Dünnschichttechnik Als Ms. gedr. Düsseldorf VDI Verl. 1988 152 S. zahlr. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI / 08. 163. Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss. Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 gnd rswk-swf Kapazitätsmessung (DE-588)4206536-7 gnd rswk-swf Feuchtigkeitssensor (DE-588)4154251-4 gnd rswk-swf Tantal (DE-588)4059023-9 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Feuchtigkeitssensor (DE-588)4154251-4 s Kapazitätsmessung (DE-588)4206536-7 s Tantal (DE-588)4059023-9 s Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 s DE-604 08. Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI 163. (DE-604)BV000882482 163. |
spellingShingle | Borgwardt, Christian Kapazitive Feuchtesensoren in Tantal-Dünnschichttechnik Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 gnd Kapazitätsmessung (DE-588)4206536-7 gnd Feuchtigkeitssensor (DE-588)4154251-4 gnd Tantal (DE-588)4059023-9 gnd |
subject_GND | (DE-588)4136339-5 (DE-588)4206536-7 (DE-588)4154251-4 (DE-588)4059023-9 (DE-588)4113937-9 |
title | Kapazitive Feuchtesensoren in Tantal-Dünnschichttechnik |
title_auth | Kapazitive Feuchtesensoren in Tantal-Dünnschichttechnik |
title_exact_search | Kapazitive Feuchtesensoren in Tantal-Dünnschichttechnik |
title_full | Kapazitive Feuchtesensoren in Tantal-Dünnschichttechnik |
title_fullStr | Kapazitive Feuchtesensoren in Tantal-Dünnschichttechnik |
title_full_unstemmed | Kapazitive Feuchtesensoren in Tantal-Dünnschichttechnik |
title_short | Kapazitive Feuchtesensoren in Tantal-Dünnschichttechnik |
title_sort | kapazitive feuchtesensoren in tantal dunnschichttechnik |
topic | Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 gnd Kapazitätsmessung (DE-588)4206536-7 gnd Feuchtigkeitssensor (DE-588)4154251-4 gnd Tantal (DE-588)4059023-9 gnd |
topic_facet | Dünnschichttechnik Kapazitätsmessung Feuchtigkeitssensor Tantal Hochschulschrift |
volume_link | (DE-604)BV000882482 |
work_keys_str_mv | AT borgwardtchristian kapazitivefeuchtesensorenintantaldunnschichttechnik |