Strukturelle und elektrische Eigenschaften polykristalliner Siliziumdünnfilme:
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| Language: | German |
| Published: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1986
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI / 9
62 |
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| Item Description: | Zugl.: Hamburg, Techn. Univ., Diss., 1986 |
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