Strukturelle und elektrische Eigenschaften polykristalliner Siliziumdünnfilme:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1986
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI / 9
62 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Hamburg, Techn. Univ., Diss., 1986 |
| Beschreibung: | 175 S. Ill., graph. Darst. |
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