Möglichkeiten der Dotierungsbestimmung in Ionen-implantierten n-InSb-Schichten mittels Schicht-Halleffekts- und Schicht-Widerstandsmessungen:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Wiedeburg, Klaus H. (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: 1977
Ausgabe:Maschinenschr. vervielf.
Schlagworte:
Beschreibung:München, Techn. Univ., Diss.
Beschreibung:141 Bl. Ill., graph. Darst.

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