(1982). Submicron lithography: March 29 - 30, 1982, Santa Clara, Calif. Internat. Soc. for Optical Engineering.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Submicron Lithography: March 29 - 30, 1982, Santa Clara, Calif. Bellingham, Washington: Internat. Soc. for Optical Engineering, 1982.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Submicron Lithography: March 29 - 30, 1982, Santa Clara, Calif. Internat. Soc. for Optical Engineering, 1982.
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